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蒋明霞
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东南大学
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唐洁影
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王磊
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刘海韵
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唐洁影
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研究主题:MEMS 衬底 悬臂梁 圆片 微悬臂梁
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王磊
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研究主题:喇叭天线 天线 天线口径 介质填充 金属化
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刘海韵
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研究主题:多晶硅 残余应力 绝缘衬底 热膨胀系数 偏转
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李伟华
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研究主题:MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
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周再发
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研究主题:残余应力 绝缘衬底 杨氏模量 多晶硅 元胞自动机
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张卫青
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研究主题:多晶硅 多晶硅材料 热膨胀系数 绝缘衬底 测试设备
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罗新虎
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黄见秋
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于慧
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研究主题:硼硅玻璃 微槽 圆片级 圆片 硅圆片
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