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贾辛
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45
被引量:43
H指数:4
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
电子电信
理学
自动化与计算机技术
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合作作者
邢廷文
中国科学院光电技术研究所
徐富超
中国科学院光电技术研究所
谢伟民
中国科学院光电技术研究所
许嘉俊
中国科学院光电技术研究所
廖志杰
中国科学院研究生院
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邢廷文
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
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所获资助
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徐富超
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 移相 干涉仪 光学元件 平移
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供职机构
所获资助
研究领域
谢伟民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束整形 面形 光纤耦合 半导体激光器 移相
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供职机构
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许嘉俊
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:空间滤波器 小孔 波片 衍射 面形
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廖志杰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 照明系统 测量方法 透过率 光刻
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林妩媚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
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甘大春
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:照明系统 补偿装置 光束控制 均匀性 入射
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李云
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:离子束 光学元件 面形 面形误差 超精密车削
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吴高峰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 光学元件 计算全息 非球面 干涉仪
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王宁
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:波前 自适应光学 远场 大气湍流 波前像差
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