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陈大鹏
作品数:
667
被引量:431
H指数:11
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
叶甜春
清华大学
焦斌斌
中国科学院微电子研究所纳米加工...
殷华湘
清华大学
欧毅
中国科学院微电子研究所纳米加工...
徐秋霞
清华大学
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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焦斌斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:平面阵列 非制冷红外成像 焦平面阵列 芯片 红外成像
发表作品
相关人物
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所获资助
研究领域
殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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欧毅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
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徐秋霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
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赵超
供职机构:清华大学
研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
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研究领域
李庆
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:红外焦平面阵列 车联网 全景图像 非均匀性校正 车辆
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张青川
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光学读出 微悬臂梁 非制冷红外成像 动态应变时效 焦平面阵列
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景玉鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
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王文武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
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