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栾晓东

作品数：11 被引量：29H指数：4
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项河北省自然科学基金天津市自然科学基金更多>>
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合作作者

领域

  • 13个电子电信
  • 8个金属学及工艺
  • 6个自动化与计算...
  • 5个化学工程
  • 5个一般工业技术
  • 5个理学
  • 4个建筑科学
  • 3个哲学宗教
  • 3个电气工程
  • 3个交通运输工程
  • 3个环境科学与工...
  • 3个文化科学
  • 2个冶金工程
  • 1个经济管理
  • 1个矿业工程
  • 1个机械工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个医药卫生
  • 1个自然科学总论

主题

  • 13个抛光液
  • 13个化学机械抛光
  • 13个机械抛光
  • 13个CMP
  • 12个去除速率
  • 12个碱性抛光液
  • 11个铜布线
  • 11个抛光
  • 11个阻挡层
  • 11个活性剂
  • 11个表面活性
  • 11个表面活性剂
  • 10个螯合剂
  • 10个碱性
  • 10个粗糙度
  • 9个碟形
  • 9个面粗糙度
  • 8个电路
  • 6个电偶
  • 6个电偶腐蚀

机构

  • 13个河北工业大学
  • 1个河北工学院
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...

资助

  • 13个国家中长期科...
  • 13个河北省自然科...
  • 10个河北省教育厅...
  • 9个天津市自然科...
  • 9个国家科技重大...
  • 8个国家自然科学...
  • 4个河北省高等学...
  • 3个国家教育部博...
  • 3个河北省教育厅...
  • 3个河北省教育厅...
  • 3个天津市重大科...
  • 2个博士科研启动...
  • 2个河北省科技计...
  • 2个天津市重点学...
  • 2个天津市科技攻...
  • 1个国家科技型中...
  • 1个新疆维吾尔自...
  • 1个天津市科技计...
  • 1个博士后科研启...
  • 1个国家创新方法...

传媒

  • 13个微纳电子技术
  • 10个半导体技术
  • 6个电镀与涂饰
  • 5个功能材料
  • 5个稀有金属
  • 5个河北工业大学...
  • 4个天津科技
  • 4个微电子学
  • 4个第十三届全国...
  • 4个第十四届全国...
  • 3个Journa...
  • 3个表面技术
  • 3个人工晶体学报
  • 3个微细加工技术
  • 3个纳米技术与精...
  • 2个稀有金属材料...
  • 2个电镀与精饰
  • 2个电子工艺技术
  • 2个润滑与密封
  • 2个中国表面工程

地区

  • 9个天津市
  • 4个河北省
共 13 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵亚东
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 抛光速率 掩膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王仲杰
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 去除速率 表面粗糙度 RU
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张文倩
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 去除速率 铝栅 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高娇娇
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘桂林
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 阻挡层 碟形 碱性 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫辰奇
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张玉峰
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 表面活性剂 表面粗糙度 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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