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胡光伟
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清华大学
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合作作者
刘泽文
清华大学信息科学技术学院微电子...
李志坚
清华大学信息科学技术学院微电子...
侯智昊
清华大学信息科学技术学院微电子...
刘理天
清华大学信息科学技术学院微电子...
张忠惠
清华大学信息科学技术学院微电子...
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李志坚
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
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刘泽文
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
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侯智昊
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:RF_MEMS开关 MEMS开关 毫米波 开关 射频微机电系统开关
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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张忠惠
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:MEMS开关 氮氧化硅 PECVD 接触式开关 低应力
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