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刘世祥

作品数：11 被引量：21H指数：3
供职机构：中国科学技术大学研究生院更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

领域

  • 22个电子电信
  • 20个理学
  • 15个一般工业技术
  • 12个电气工程
  • 10个化学工程
  • 9个机械工程
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  • 2个环境科学与工...
  • 2个农业科学

主题

  • 18个退火
  • 18个光发射
  • 18个硅
  • 15个纳米
  • 15个光谱
  • 15个光致
  • 15个光致发光
  • 15个发光
  • 15个半导体
  • 14个氮化
  • 14个激光
  • 14个硅薄膜
  • 13个氮化硅
  • 13个氧化硅
  • 11个碳化硅
  • 10个导体
  • 10个室温
  • 9个氮化硅薄膜
  • 9个碳化硅粉
  • 9个可见光发射

机构

  • 17个中国科学院
  • 16个中国科学技术...
  • 5个中国科学院研...
  • 4个中国科学院微...
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  • 2个中国科技大学
  • 2个中国科学院微...
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  • 1个教育部
  • 1个浙江大学
  • 1个首都师范大学
  • 1个香港科技大学
  • 1个河南师范大学
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  • 1个南通纺织工学...
  • 1个杭州中科微电...

资助

  • 17个国家自然科学...
  • 7个国家重点基础...
  • 6个国家高技术研...
  • 5个国家科技部专...
  • 4个中国博士后科...
  • 4个“九五”国家...
  • 4个中国科学院知...
  • 3个国家科技攻关...
  • 3个国家攀登计划
  • 3个中国科学院知...
  • 2个北京市科技新...
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  • 2个上海市科学技...
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  • 1个北京市自然科...
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传媒

  • 20个发光学报
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  • 11个科学通报
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  • 6个硅酸盐学报
  • 6个核技术
  • 6个无机材料学报
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  • 4个微细加工技术
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  • 3个半导体情报
  • 3个金属学报
  • 3个红外与毫米波...

地区

  • 15个北京市
  • 3个安徽省
  • 3个上海市
共 22 条 记 录，以下是 1-10
石万全
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：硅 离子注入 氮化硅 LPCVD 氮化硅薄膜
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刘渝珍
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：光致发光 快速退火 LPCVD RTA 硅
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韩一琴
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：多晶硅薄膜 微晶硅薄膜 热丝 热丝化学气相沉积 LPCVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚德成
供职机构：中国科学院大学
研究主题：单光子 镁 氢原子 激光诱导 密码学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘金龙
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：太阳电池 氮化硅 硅 半导体薄膜技术 PECVD
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赵玲莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：LPCVD X射线光刻 氮化硅 氮化硅薄膜 可见光发射
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陈梦真
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 光刻 掩模 光刻胶 集成电路
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孙宝银
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化硅薄膜 LPCVD X射线光刻 氮化硅 可见光发射
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叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱美芳
供职机构：中国科学技术大学研究生院
研究主题：氧化硅 热丝法 稳定性 SIO 非晶硅
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