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谢常青

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

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地区

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共 8 条 记 录，以下是 1-8
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 MEMS 沟道 焦平面阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
康晓辉
供职机构：中国科学院
研究主题：掩模制作 铬 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵玲利
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 常压 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆晶
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：分辨率 移相掩模技术 移相掩模 光刻 交替式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩敬东
供职机构：中国科学院
研究主题：X射线光刻 LPCVD 氮化硅 掩模 氮化硅膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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