2024年7月10日
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孟庆宾
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中国科学院光电研究院
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合作作者
苏佳妮
北京市准分子激光工程技术研究中...
齐月静
北京市准分子激光工程技术研究中...
卢增雄
北京市准分子激光工程技术研究中...
周翊
北京市准分子激光工程技术研究中...
齐威
中国科学院光电研究院
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齐月静
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:波像差 哈特曼波前传感器 光学系统 准直物镜 投影物镜
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苏佳妮
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:波像差 哈特曼波前传感器 光学系统 准直物镜 投影物镜
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卢增雄
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:波像差 哈特曼波前传感器 衍射 准直物镜 球面波
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周翊
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:准分子激光器 分子激光器 激光器 激光 放电区
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齐威
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:哈特曼波前传感器 准直物镜 波像差 哈特曼传感器 光源
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王宇
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:准分子激光器 分子激光器 激光 波像差 分压
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刘广义
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:准分子激光器 波像差 掩模板 调焦 投影物镜
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梅东滨
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:衍射 干涉仪 俯仰 激光干涉仪 微孔
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杨光华
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:哈特曼波前传感器 波像差 光学系统 准直物镜 色散
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高斐
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:环境温度 光刻 准分子激光器 中心波长
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