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何莲萍
作品数:
2
被引量:5
H指数:1
供职机构:
上海交通大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李积和
上海硅材料厂
汪师俊
上海交通大学
沈天慧
上海硅材料厂
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李积和
供职机构:上海交通大学
研究主题:SIO LPCVD SIH MOS电路 二氧化硅
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汪师俊
供职机构:上海交通大学
研究主题:氮化硅 气相淀积 氮化硅薄膜 MOS电路 SIO
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沈天慧
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 SIO 抗腐蚀性能 电镀 CVD金刚石薄膜
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