您的位置： 专家智库 > >

彭勃

作品数：18 被引量：10H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>

合作作者

领域

  • 13个电子电信
  • 11个机械工程
  • 8个自动化与计算...
  • 7个理学
  • 3个金属学及工艺
  • 2个化学工程
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个一般工业技术
  • 2个文化科学
  • 1个电气工程
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个交通运输工程
  • 1个医药卫生

主题

  • 13个投影物镜
  • 13个物镜
  • 13个像差
  • 13个波像差
  • 12个光刻
  • 12个光刻机
  • 11个掩模
  • 10个照明
  • 8个对称型
  • 8个相移掩模
  • 8个光栅
  • 7个定心
  • 7个噪声
  • 6个照明方式
  • 6个主成分
  • 6个像质
  • 5个衍射
  • 5个移相
  • 5个位置估计
  • 3个电路

机构

  • 13个中国科学院上...
  • 7个中国科学院研...
  • 5个中国科学院大...
  • 2个中国科学院
  • 1个中芯国际集成...

资助

  • 11个国家自然科学...
  • 4个国家科技重大...
  • 3个国家高技术研...
  • 2个上海市科委纳...
  • 2个上海市自然科...
  • 2个“上海－应用...
  • 2个国际科技合作...
  • 2个上海市“科技...
  • 2个上海市基础研...
  • 2个上海市科委国...
  • 2个上海市科学技...
  • 2个中国科学院“...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个上海市青年科...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个教育部“新世...
  • 1个应用光学国家...
  • 1个中国科学院知...

传媒

  • 10个光学学报
  • 3个量子电子学报
  • 3个物理学报
  • 3个激光与光电子...
  • 3个中国激光
  • 3个第十三届全国...
  • 3个第十四届全国...
  • 2个光电子．激光
  • 2个光子学报
  • 2个中国科学（G...
  • 2个第十二届全国...
  • 2个全国第十次光...
  • 2个第十五届全国...
  • 2个第十六届全国...
  • 2个全国第十次光...
  • 2个第十七届全国...
  • 1个红外与激光工...
  • 1个光学精密工程
  • 1个电子测量技术
  • 1个仪器仪表学报

地区

  • 12个上海市
  • 1个北京市
共 13 条 记 录，以下是 1-10
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段立峰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫观勇
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐东波
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨济硕
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 投影物镜 像差 主成分 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹宇婷
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：掩模 光刻机 像差 投影物镜 极紫外投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邱自成
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 移相 像差 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁琼雁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 移相 像差 工件台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渤帆
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：正弦相位调制 半导体激光 干涉仪 测量方法 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
步扬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0