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张金

作品数：88 被引量：139H指数：8
供职机构：清华大学更多>>
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杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
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张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
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尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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徐登峰
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
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穆海华
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
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朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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胡金春
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
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刘召
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 激光干涉仪 大行程 激光干涉
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王伯雄
供职机构：清华大学
研究主题：光切法 飞行时间 测量方法 线宽 测量系统
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田丽
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 掩模 基台 气浮轴承
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