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宋曦
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兰州大学物理科学与技术学院
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相关领域:
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合作作者
韦飞
中国科学院空间科学与应用研究中...
谢二庆
中国科学院微电子研究所纳米加工...
刘明
兰州大学物理科学与技术学院
谢常青
兰州大学物理科学与技术学院
朱效立
兰州大学物理科学与技术学院
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韦飞
供职机构:中国科学院空间科学与应用研究中心
研究主题:EUV 近地空间 热形变 热力学 透射光栅
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朱效立
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
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相关人物
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谢二庆
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:EUV 近地空间 热形变 热力学 透射光栅
发表作品
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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所获资助
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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