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纪明

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田大宇
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
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张海霞
供职机构：北京大学
研究主题：发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张国炳
供职机构：北京大学
研究主题：硅化物 多晶硅 离子注入 微机电系统 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈哲
供职机构：北京大学
研究主题：SIC 控制技术 离子注入 退火 应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王玮
供职机构：北京大学信息科学技术学院微电子研究院
研究主题：硅 数据挖掘 探测器 共晶键合 金属薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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