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付蕾
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
河北工业大学
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发文基金:
河北省自然科学基金
国家科技重大专项
国家中长期科技发展规划重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
马欣
河北工业大学电子信息工程学院
张文倩
河北工业大学电子信息工程学院
刘玉岭
河北工业大学电子信息工程学院
王辰伟
河北工业大学电子信息工程学院
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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马欣
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:碱性抛光液 化学机械抛光 CMP 铝栅 H2O2
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供职机构
所获资助
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
张文倩
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 去除速率 铝栅 表面粗糙度
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相关人物
供职机构
所获资助
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