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付蕾

作品数:2 被引量:2H指数:1
供职机构:河北工业大学更多>>
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相关领域:电子电信更多>>

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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马欣
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:碱性抛光液 化学机械抛光 CMP 铝栅 H2O2
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张文倩
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 去除速率 铝栅 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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