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谢二庆

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 5个电子电信
  • 3个金属学及工艺
  • 3个机械工程
  • 3个自动化与计算...
  • 3个文化科学
  • 3个理学
  • 2个经济管理
  • 2个化学工程
  • 2个建筑科学
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  • 2个核科学技术
  • 2个医药卫生
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  • 1个矿业工程
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  • 1个电气工程
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主题

  • 5个形变
  • 5个透射
  • 5个透射光
  • 5个透射光栅
  • 5个热力学
  • 5个热形变
  • 5个近地空间
  • 5个光栅
  • 5个EUV
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  • 3个带环
  • 3个带宽
  • 3个带隙
  • 3个单级
  • 3个氮化
  • 3个氮化硅
  • 3个氮化硅薄膜
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  • 2个带隙基准
  • 2个带隙基准电压

机构

  • 4个兰州大学
  • 4个中国科学院微...
  • 2个中国科学院
  • 1个北京大学
  • 1个南京大学
  • 1个北京工业大学
  • 1个北京航空航天...
  • 1个河北大学
  • 1个西安理工大学
  • 1个天津大学
  • 1个中国工程物理...
  • 1个中国科学院微...

资助

  • 5个国家科技重大...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个国家自然科学...
  • 2个吉林省科技攻...
  • 2个国家杰出青年...
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  • 1个国家科技攻关...
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  • 1个北京市科技计...
  • 1个“九五”国家...
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  • 1个国家重点实验...
  • 1个河北省自然科...
  • 1个应用光学国家...
  • 1个中国工程物理...
  • 1个中国科学院战...

传媒

  • 5个光电工程
  • 3个Journa...
  • 3个物理学报
  • 3个核技术
  • 3个光学学报
  • 3个光子学报
  • 3个微细加工技术
  • 3个微纳电子技术
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  • 2个半导体技术
  • 2个科学通报
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  • 2个物理
  • 2个强激光与粒子...
  • 2个真空科学与技...
  • 2个电子工业专用...
  • 2个电子器件
  • 2个功能材料与器...
  • 2个固体电子学研...
  • 2个微电子学

地区

  • 4个北京市
  • 1个甘肃省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
宋曦
供职机构：兰州大学物理科学与技术学院
研究主题：EUV 近地空间 热形变 热力学 透射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱效立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韦飞
供职机构：中国科学院空间科学与应用研究中心
研究主题：EUV 近地空间 热形变 热力学 透射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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