您的位置： 专家智库 > >

戚晖

作品数：22 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 12篇溅射
  • 12篇磁控
  • 12篇磁控溅射
  • 8篇镀膜
  • 8篇镀膜设备
  • 8篇制程
  • 8篇控制程序
  • 6篇法兰
  • 4篇电机
  • 4篇电机驱动
  • 4篇自转
  • 4篇控制系统
  • 4篇基片
  • 4篇工控
  • 4篇工控机
  • 3篇运动控制
  • 3篇运动控制卡
  • 3篇真空
  • 3篇真空试验
  • 3篇试验仪

机构

  • 22篇中国科学院

作者

  • 22篇戚晖
  • 10篇冯彬
  • 10篇耿达
  • 9篇周景玉
  • 8篇刘丽华
  • 8篇郭东民
  • 8篇佟辉
  • 8篇张雪
  • 4篇李求恕
  • 4篇曾志群
  • 4篇潘福全
  • 4篇阎佐健
  • 4篇吕祺
  • 3篇刘军
  • 3篇张军
  • 3篇鲁向群
  • 3篇林秀清
  • 2篇孙荣昌
  • 2篇徐英凤
  • 2篇石长友

年份

  • 6篇2013
  • 8篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 4篇2000
共 22 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
真空试验仪器自动泵抽系统及其控制方法
本发明涉及一种真空试验仪器自动泵抽系统及其控制方法，系统包括PLC，其输入端接收现场传感器信号，与工控机进行通讯连接，输出信号经驱动电路送至现场设备；工控机为PLC的上位机，对PLC中的控制程序进行编程，通过PLC对现场...
耿达戚晖林秀清
文献传递
离子束溅射镀膜机
本实用新型涉及一种离子束溅射镀膜装置。由镀膜室、离子枪、旋转靶、衬底夹持架等组成,镀膜室为圆筒形,离子枪位于镀膜室顶部,镀膜室中部倾斜45°角安装旋转把,离子枪引出栅轴心线与旋转把一面靶材中心点位于同一垂直轴线上,镀膜室...
李求恕王文魁郭东民冯彬曾志群阎佐健刘军戚晖潘福全鲁向群吕祺
文献传递
一种真空镀膜设备的PLC虚拟设备控制系统及控制方法
本发明公开一种真空镀膜设备的PLC虚拟设备控制系统及控制方法，本发明主要解决更改设备需要重新设计控制方式的问题，本发明系统主要包括PLC、上位机和外部设备，PLC为主控设备，特点是在PLC内采用虚拟化输入/输出端口，使工...
戚晖耿达张国栋张华威
文献传递
一种磁控溅射系统
本发明涉及镀膜设备，具体地说是一种磁控溅射系统，包括磁控室、基片转台、基片转台驱动电机、传动机构、磁控靶、机台架、真空抽气系统及电动提升机构，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内均布有多个安...
赵科新佟辉周景玉刘丽华张雪戚晖
文献传递
真空试验仪器自动泵抽系统及其控制方法
本发明涉及一种真空试验仪器自动泵抽系统及其控制方法，系统包括PLC，其输入端接收现场传感器信号，与工控机进行通讯连接，输出信号经驱动电路送至现场设备；工控机为PLC的上位机，对PLC中的控制程序进行编程，通过PLC对现场...
耿达戚晖林秀清
一种真空设备运动定位控制系统及控制方法
本发明公开一种真空设备运动定位控制系统及控制方法，该真空设备运动定位控制系统包括PLC、工控机、现场设备及传感器；其中，PLC为主控部件，其输入端接收现场传感器信号，与工控机进行通讯连接，输出端接现场设备，所述现场设备包...
戚晖耿达林秀青徐英凤
文献传递
带有单冷却自转盘的磁控溅射系统
本实用新型涉及镀膜设备，具体地说是一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统，包括磁控室、单冷却自转盘、第一电机、手动基片挡板组件、磁控靶、机台架及真空抽气系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内...
冯彬郭东民佟辉周景玉刘丽华张雪戚晖
文献传递
一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统
本发明涉及镀膜设备，具体地说是一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统，包括磁控室、单冷却自转盘、第一电机、手动基片挡板组件、磁控靶、机台架及真空抽气系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内均布...
冯彬郭东民佟辉周景玉刘丽华张雪戚晖
文献传递
矩形样品磁控溅射仪运动控制装置
本实用新型涉及一种矩形样品磁控溅射仪运动控制装置，该装置具有工业控制计算机、运动执行机构及运动控制卡，运动控制卡接收运动执行机构的反馈信号，并向运动执行机构发送控制信号，运动控制卡与工业控制计算机进行通讯连接；工业控制计...
耿达戚晖张军
文献传递
平面显示器连续镀膜装置
本实用新型涉及一种平面显示器连续镀膜装置。由五个长方形箱体喷淋烘干室、进样室、溅射室、翻转室、电子束蒸发室及抽气机构等组成,其中喷淋烘干室为非真空室,进样室、溅射室、翻转室和电子束蒸发室为线列式连续镀膜的真空室,手动矩形...
李求恕郭东民冯彬刘军阎佐健鲁向群戚晖吕祺曾志群潘福全郭宝英石长友
文献传递
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0