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周景玉

作品数：11 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇中文专利

主题

  • 9篇溅射
  • 9篇磁控
  • 9篇磁控溅射
  • 8篇镀膜
  • 8篇镀膜设备
  • 6篇法兰
  • 4篇自转
  • 4篇基片
  • 2篇电机
  • 2篇电机驱动
  • 2篇镀膜机
  • 2篇多弧离子镀
  • 2篇真空镀膜
  • 2篇真空镀膜机
  • 2篇真空镀膜设备
  • 2篇水冷
  • 2篇转盘
  • 2篇转台
  • 2篇离子镀
  • 2篇离子束

机构

  • 11篇中国科学院

作者

  • 11篇周景玉
  • 10篇佟辉
  • 9篇戚晖
  • 8篇刘丽华
  • 8篇张雪
  • 7篇冯彬
  • 6篇郭东民
  • 2篇张健
  • 2篇张军
  • 2篇孟凡荣
  • 2篇赵科新
  • 1篇孙荣昌
  • 1篇刘大为
  • 1篇李求恕
  • 1篇谭亮
  • 1篇曾志群
  • 1篇潘福全
  • 1篇石长友
  • 1篇刘军
  • 1篇魏吉萍

年份

  • 4篇2013
  • 4篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2000
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机
本实用新型涉及真空镀膜设备，具体地说是一种离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机，包括真空室、真空抽气系统及机架，真空室安装在机架上，真空抽气系统与真空室密封连接；所述真空室内设有与其密封连接的中心转轴，中心转轴的底端与安装在机...
张健孟凡荣张军周景玉佟辉
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一种离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机
本发明涉及真空镀膜设备，具体地说是一种离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机，包括真空室、真空抽气系统及机架，真空室安装在机架上，真空抽气系统与真空室密封连接；所述真空室内设有与其密封连接的中心转轴，中心转轴的底端与安装在机架上...
张健孟凡荣张军周景玉佟辉
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一种磁控溅射系统
本发明涉及镀膜设备，具体地说是一种磁控溅射系统，包括磁控室、基片转台、基片转台驱动电机、传动机构、磁控靶、机台架、真空抽气系统及电动提升机构，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内均布有多个安...
赵科新佟辉周景玉刘丽华张雪戚晖
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带有单冷却自转盘的磁控溅射系统
本实用新型涉及镀膜设备，具体地说是一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统，包括磁控室、单冷却自转盘、第一电机、手动基片挡板组件、磁控靶、机台架及真空抽气系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内...
冯彬郭东民佟辉周景玉刘丽华张雪戚晖
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一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统
本发明涉及镀膜设备，具体地说是一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统，包括磁控室、单冷却自转盘、第一电机、手动基片挡板组件、磁控靶、机台架及真空抽气系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内均布...
冯彬郭东民佟辉周景玉刘丽华张雪戚晖
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超高真空多功能磁控溅射装置
本实用新型涉及一种超高真空多功能磁控溅射装置。由主溅射室、进样室、磁力传动机构、超高真空抽气装置和高真空抽气分子泵组成,其中主溅射室为梨形结构,由圆柱形真空室配装一“梨把”,“梨把”下面加装一套超高真空抽气装置,进样室为...
李求恕冯彬阎佐健鲁向群吕祺金振奎刘大为刘军戚晖孙荣昌魏吉萍曾志群潘福全郭宝英石长友谭亮周景玉
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一种带有单加热自转盘的磁控溅射系统
本发明涉及镀膜设备，具体地说是一种带有单加热自转盘的磁控溅射系统，包括磁控室、单加热自转盘、第一电机、手动基片挡板组件、磁控靶、机台架及真空抽气系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内均布...
冯彬郭东民佟辉周景玉刘丽华张雪戚晖
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磁控溅射系统
本实用新型涉及镀膜设备，具体地说是一种磁控溅射系统，包括磁控室、基片转台、基片转台驱动电机、传动机构、磁控靶、机台架、真空抽气系统及电动提升机构，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内均布有多...
赵科新佟辉周景玉刘丽华张雪戚晖
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带有单加热自转盘的磁控溅射系统
本实用新型涉及镀膜设备，具体地说是一种带有单加热自转盘的磁控溅射系统，包括磁控室、单加热自转盘、第一电机、手动基片挡板组件、磁控靶、机台架及真空抽气系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内...
冯彬郭东民佟辉周景玉刘丽华张雪戚晖
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一种带有基片水冷加热公转台的磁控溅射系统
本发明涉及镀膜设备，具体地说是一种带有基片水冷加热公转台的磁控溅射系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内均布有多个安装在磁控室的下法兰上的磁控靶；基片水冷加热公转台转动安装在磁控室的上盖...
冯彬郭东民佟辉周景玉刘丽华张雪戚晖
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