唐凌
- 作品数：5 被引量：12H指数：2
- 供职机构：复旦大学更多>>
- 相关领域：电子电信政治法律更多>>
- IC器件失效点显微发光分析和研究
- 光发射显微镜(PEM)是90年代发展起来的一种高灵敏、高分辨率的缺陷定位分析技术.随着半导体器件线宽的不断下降,光发射显微镜已广泛使用于IC和分立器件中漏电、击穿、热载流子等失效点的定位和失效机理的分析.该文将介绍光发射...
- 唐凌
- 关键词：PEM半导体器件
- 文献传递
- 论农村土地承包经营领域妇女平等权益保护
- 从当前农村社会的现实来看,农村妇女的土地承包经营权益总是受到侵害,原因源于多方面。本文结合农村妇女难以获得平等土地承包权益的现状,来分析土地承包领域难以实现男女平等的原因。寻求实现平等、破除歧视的路径,探索的过程分为两步...
- 唐凌
- 关键词：农村社会土地承包经营权妇女群体救济程序
- 聚焦离子束诱发金属有机化学气相淀积碳-铂薄膜被引量：3
- 2004年
- 通过一系列实验 ,对聚焦离子束诱发 MOCVD的成膜机理进行了研究 ,给出了淀积速率同离子束流等参数之间关系的理论模型 .发现随着离子束流的增大 ,薄膜淀积速率增大 ,但并非完全线性增加 ,薄膜中的 C/ Pt比例也随之变化 ,薄膜电阻率则随之降低 ,最后趋向恒定 .
- 江素华唐凌王家楫
- 关键词：聚焦离子束金属有机化学气相淀积铂碳
- PEM用于半导体器件失效缺陷检测和分析被引量：7
- 2004年
- 光发射显微镜(PEM)是90年代发展起来的一种高灵敏度、高分辨率的新型缺陷定位分析技术。随着半导体器件线宽的不断下降,光发射显微镜已广泛使用于IC和分立器件中漏电、击穿、热载流子等失效点的定位和失效机理的分析。本文介绍了光发射显微镜及在半导体器件进行失效分析的机理和实际应用。
- 唐凌瞿欣方培源杨兴王家楫
- 关键词：PEM半导体器件
- 深亚微米ULSI工艺检测技术——扫描探针显微镜被引量：2
- 2002年
- 扫描探针显微镜(SPM)是80年代发展起来的一种具有超高空间分辨率的显微技术。扫描探针显微镜功能强大,在表面科学、生命科学、微电子工业等许多领域得到广泛的运用。随着集成电路的线宽进入深亚微米阶段,扫描探针显微镜在ULSI工艺表征中显得日益重要。本文将介绍扫描探针显微镜及其在微电子工艺和器件微分析中的应用。
- 王家楫唐凌
- 关键词：SPMULSI扫描探针显微镜深亚微米
