方杰
- 作品数：13 被引量：4H指数：1
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家教育部“211”工程更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 采用弯曲极板实现高电容值调节范围的微机械可变电容
- 本发明公开了属于半导体器件范围的一种采用弯曲极板实现高电容值调节范围的微机械可变电容。在高阻硅衬底上覆盖一层热氧化层，其上是厚度为0.15～3.0μm下极板金属层，在中部的下极板上为绝缘介质层，牺牲层将上极板支撑在下极板...
- 刘泽文雷啸锋方杰刘理天李志坚
- 文献传递
- 基于低损耗Si衬底的片上射频LC无源滤波器研究
- 方杰
- 两侧下拉电极MEMS压控电容的分析和优化被引量：3
- 2005年
- 基于能量法对两侧下拉电极控制(SPEC)的MEMS(微机电系统)压控电容进行了分析和优化。使用数值迭代方法计算了压控电容可动极板的挠度试解函数,得到了试解函数形状在不同驱动电压下的曲线。计算结果与有限元仿真所得结果一致。在此基础上,给出了基于铝材料的两侧下拉电极MEMS压控电容的优化过程,得到了优化结果。对于初始应力5 MPa,杨式模量70 GPa,极板厚度1.5μm,极板间距1μm,总长度为600μm的铝材料压控电容,控制电极采用70μm的优化长度,可以实现变化比率为2∶1电容变化比率。结果表明采用(SPEC)结构的压控电容,能有效地减小或避免静电微机械结构特有的“崩塌”效应,获得较大的电容调节范围。
- 刘泽文韦嘉王昱方杰刘理天李志坚
- 关键词：压控电容微机电系统能量法
- 低损耗衬底上实现无源低通滤波器(英文)
- 2006年
- 分析比较了不同种类衬底上无源器件(片上电感和电容)的损耗机理,在OPS(氧化多孔硅)和HR(高阻硅)低损耗衬底上分别实现了片上低通滤波器.为了研究衬底损耗,设计了平面螺旋电感,其Q值在两种衬底上的仿真结果都超过了20.在OPS衬底上的低通滤波器实测-3dB带宽为2.9GHz,通带插入损耗在500MHz为0.87dB;在HR衬底上的低通滤波器实测-3dB带宽为2.3GHz,通带插入损耗在500MHz为0.42dB.
- 方杰刘泽文赵嘉昊陈忠民韦嘉刘理天李志坚
- 关键词：片上电感
- 有效精度超过20位的高精度模数转换卡
- 有效精度超过20位的高精度模数转换卡属于模数转换器制造领域，其特征在于，它含有：本身的模拟、数字信号相隔离的模数转换器，向模数转换器的模拟电路供电的模拟DC/DC电源模块和改进的滤波电路，同时与上述高精度转换部分相连的高...
- 于庆广方杰
- 文献传递
- 一种用于质量和电荷传感的纳米谐振器分析和模拟被引量：1
- 2005年
- 文章介绍了一种纳米双悬梁支撑微板谐振器。根据动力学微分方程模型，对器件的谐振特性进行模拟，结果表明，以Si3N4为功能材料，最小线宽175纳米的器件，其谐振频率18．1MHz。在常温真空环境下，采用静电驱动的双悬梁支撑结构，有效地抑制了扭转模式谐振的干扰。用该结构作质量传感器，精度达到6．25×10^-19g／Hz，作电荷计，精度可以达到0．3e／Hz（e为电子电荷）。
- 刘冰刘泽文王程伟方杰余文革刘理天
- 关键词：静电驱动
- 一种平行四边形结构的微机械可变电容
- 本发明公开了属于微型电子元件范围的一种平行四边形结构的微机械可变电容。由上极板、下极板、左支撑梁、右支撑梁在硅衬底上形成其横截面为平行四边形的结构体。平行四边形结构的可变电容相比于目前左右支撑梁均为垂直式的可变电容，在相...
- 刘泽文方杰
- 文献传递
- 用于射频领域的MEMS无源LC滤波器设计研究
- 介绍了一种利用MEMS工艺实现的用于射频领域的无源LC低通滤波器的设计、仿真和制作。该低通滤波器(LPF)采用三阶Chebyshev最少电容原型结构,设计参数为:-3dB带宽为3GHz,插入损耗小于2dB。基于MEMS无...
- 方杰刘泽文陈忠民刘理天李志坚
- 关键词：射频MEMS无源滤波器
- 文献传递
- 用于射频领域的MEMS无源LC滤波器设计研究
- 本文介绍了一种利用MEMS工艺实现的用于射频领域的无源LC低通滤波器的设计、仿真和制作.该低通滤波器(LPF)采用三阶Chebyshev最少电容原型结构,设计参数为:一3dB带宽为3GHz,插入损耗小于2dB.基于MEM...
- 方杰刘泽文陈忠民刘理天李志坚
- 关键词：无源滤波器射频MEMS
- 文献传递
- 一种平行四边形结构的微机械可变电容
- 本发明公开了属于微型电子元件范围的一种平行四边形结构的微机械可变电容。由上极板、下极板、左支撑梁、右支撑梁在硅衬底上形成其横截面为平行四边形的结构体。平行四边形结构的可变电容相比于目前左右支撑梁均为垂直式的可变电容，在相...
- 刘泽文方杰
- 文献传递
