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刘晓雷

作品数：15 被引量：20H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 4篇机械工程
  • 4篇理学
  • 1篇电子电信

主题

  • 14篇光刻
  • 11篇掩模
  • 11篇极紫外
  • 10篇紫外光刻
  • 10篇仿真
  • 9篇极紫外光刻
  • 8篇多层膜
  • 7篇仿真方法
  • 4篇相位
  • 4篇相位补偿
  • 3篇衍射
  • 3篇光学
  • 2篇散射
  • 2篇散射法
  • 2篇投影物镜
  • 2篇平面镜
  • 2篇物镜
  • 2篇像差
  • 2篇近似法
  • 2篇光刻机

机构

  • 15篇中国科学院上...
  • 3篇中国科学院大...
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 15篇刘晓雷
  • 15篇王向朝
  • 14篇李思坤
  • 8篇步扬
  • 4篇管文超
  • 2篇闫观勇
  • 2篇沈丽娜
  • 1篇曹宇婷

传媒

  • 4篇光学学报

年份

  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 4篇2015
  • 4篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
共 15 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
极紫外光刻厚掩模缺陷的快速仿真方法
一种极紫外光刻厚掩模缺陷的快速仿真方法，该方法将缺陷多层膜等效为无缺陷平面镜和缺陷平面镜两部分，首先通过薄掩模近似得到掩模吸收层衍射谱，相位补偿后经过缺陷多层膜反射，然后再进行相位补偿，最后通过薄掩模近似和相位补偿，得到...
刘晓雷李思坤王向朝步扬
文献传递
极紫外光刻含缺陷掩模衍射谱的快速严格仿真方法
一种极紫外光刻含缺陷掩模衍射谱的快速严格仿真方法，该方法将含缺陷多层膜分为无缺陷部分和含缺陷部分两部分，并通过分割法和等效膜层法建模。首先通过薄掩模近似和相位补偿得到掩模吸收层衍射谱，再经过含缺陷多层膜的衍射，最后通过薄...
刘晓雷李思坤王向朝步扬管文超
文献传递
三维信息光学加密系统和方法
一种三维信息光学加密系统和方法，所述系统一套加密装置和一套解密装置，所述方法首先采用结构光投影编码系统将待加密物体的三维信息编码至二维光学条纹图像中，然后通过双随机相位编码系统增强二维光学条纹图像的安全性。本发明可以有效...
李思坤王向朝步扬刘晓雷
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极紫外投影光刻掩模阴影效应分析被引量：8
2012年
极紫外(EUV)投影光刻掩模在斜入射光照明条件下,掩模成像图形位置和成像图形特征尺寸(CD)都将随入射光方向变化,即存在掩模阴影效应。基于一个EUV掩模衍射简化模型实现了掩模阴影效应的理论分析和补偿,得到了掩模(物方)最佳焦面位置和掩模图形尺寸校正量的计算公式。掩模(物方)焦面位置位于多层膜等效面上减小了图形位置偏移;基于理论公式对掩模图形尺寸进行校正,以目标CD为22nm的线条图形为例,入射光方向变化时成像图形尺寸偏差小于0.3nm,但当目标CD继续减小时理论公式误差增大,需进一步考虑掩模斜入射时整个成像光瞳内的能量损失和补偿。
曹宇婷王向朝步扬刘晓雷
关键词：光学制造极紫外投影光刻掩模
光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法
一种光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法。采用方向不同，尺寸相同的一维图形作检测标记。采集检测标记的空间像，对空间像光强拟合得到投影物镜波像差。本发明高精度地校正了空间像位置偏移，降低了空间像位置误差，增加了可检测的泽...
闫观勇李思坤王向朝沈丽娜刘晓雷
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极紫外光刻无缺陷掩模衍射谱快速严格仿真方法
一种极紫外光刻无缺陷掩模衍射谱快速严格仿真方法，采用等效膜层法由上至下逐层计算膜层复反射系数得到整个多层膜的复反射系数，首先通过吸收层薄掩模模型计算掩模吸收层衍射谱，然后经过多层膜反射，最后再次通过吸收层薄掩模模型，得到...
刘晓雷李思坤王向朝步扬
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极紫外光刻掩模多层膜振幅型缺陷衍射谱的快速仿真方法
一种极紫外光刻掩模多层膜振幅型缺陷衍射谱的快速仿真方法,所述方法将多层膜振幅型缺陷分为缺陷颗粒与多层膜两部分，并分别通过米散射法和单平面近似法建模。本发明提供了一种可有效仿真极紫外光刻掩模多层膜振幅型缺陷衍射谱的方法,提...
管文超王向朝李思坤刘晓雷
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光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法
一种光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法。采用方向不同，尺寸相同的一维图形作检测标记。采集检测标记的空间像，对空间像光强拟合得到投影物镜波像差。本发明高精度地校正了空间像位置偏移，降低了空间像位置误差，增加了可检测的泽...
闫观勇李思坤王向朝沈丽娜刘晓雷
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极紫外光刻厚掩模缺陷的快速仿真方法
一种极紫外光刻厚掩模缺陷的快速仿真方法，该方法将缺陷多层膜等效为无缺陷平面镜和缺陷平面镜两部分，首先通过薄掩模近似得到掩模吸收层衍射谱，相位补偿后经过缺陷多层膜反射，然后再进行相位补偿，最后通过薄掩模近似和相位补偿，得到...
刘晓雷李思坤王向朝步扬
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极紫外光刻含缺陷掩模衍射谱的快速严格仿真方法
一种极紫外光刻含缺陷掩模衍射谱的快速严格仿真方法，该方法将含缺陷多层膜分为无缺陷部分和含缺陷部分两部分，并通过分割法和等效膜层法建模。首先通过薄掩模近似和相位补偿得到掩模吸收层衍射谱，再经过含缺陷多层膜的衍射，最后通过薄...
刘晓雷李思坤王向朝步扬管文超
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