余东东
- 作品数：26 被引量：18H指数：2
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- 相关领域：自动化与计算机技术文化科学电子电信电气工程更多>>
- 一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置
- 一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置，该装置包括薄片V型托盘、晶圆夹子和凸起支撑。晶圆夹子包括支架、连杆、弹簧及滑块。当抓取晶圆时，晶圆边缘与滑块的斜面部分接触，其重力分力使滑块沿连杆向支架方向移动，并使弹簧压缩，晶圆夹在晶圆...
- 杨开明朱煜李鑫汪劲松尹文生胡金春张鸣徐登峰穆海华崔乐卿余东东
- 文献传递
- 一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置
- 一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置，该装置包括薄片V型托盘、晶圆夹子和凸起支撑。晶圆夹子包括支架、连杆、弹簧及滑块。当抓取晶圆时，晶圆边缘与滑块的斜面部分接触，其重力分力使滑块沿连杆向支架方向移动，并使弹簧压缩，晶圆夹在晶圆...
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- 基于前馈辨识与非线性复合反馈的平面电动机运动控制
- 2012年
- 控制器包括前馈项与反馈补偿,前馈用以减小加、减速段跟踪误差,反馈项用以提高系统鲁棒性并确保匀速段误差的收敛。然而实际中存在建模误差,基于名义模型计算得到的前馈系数不够准确。此外不确定项使得多自由度之间存在耦合,且无法确保跟踪误差的收敛。以平面电动机为研究对象,为提高其运动与定位精度,提出一基于前馈辨识与反馈非线性复合控制方法,并利用Lyapunov理论证明该算法的稳定性。其中前馈系数通过PD控制试验求解。反馈控制器中鲁棒项用以补偿建模误差以减小多自由度耦合并提高鲁棒性,非线性项采用基于误差幅值的变增益方法,用以抑制低频扰动并避免噪声的引入。试验结果表明,该方法明显减小轨迹跟踪误差,提高系统鲁棒性与伺服性。
- 李鑫杨开明朱煜余东东崔乐卿
- 关键词：平面电动机
- 一种利用线绳弹簧拉伸的晶圆夹持装置
- 一种利用线绳弹簧拉伸的晶圆夹持装置，该装置包括托盘、四个底面支撑组件、两个侧面支撑组件和一个线绳伸缩夹持组件。线绳伸缩夹持组件包括电机、线绳、两个移动夹子、两个挡板装置和两个弹簧元件。在电机与弹簧元件的作用下，线绳和弹簧...
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- 文献传递
- 超精密六自由度微动台耦合动力学建模及分析被引量：8
- 2014年
- 多输入多输出(multi-input multi-output,MIMO)运动控制系统中,自由度耦合是影响系统运动性能的关键因素。因此,为实现运动系统高速度下纳米级定位精度和轨迹跟踪精度,需要从控制对象内部的耦合机理出发,建立耦合模型,并在此基础上建立动力学模型,实现系统内部的力学解耦。该文研究对象是一种无接触式六自由度微动台,此微动台有8个洛伦兹电机提供驱动力,且竖直方向具有重力平衡装置。基于微动台的结构模型和控制要求,建立了2类主要耦合模型:位置相关耦合和力相关耦合。其中,位置相关解耦连接控制点到质心,力相关解耦连接质心到各驱动力。最后进行了实验验证,实验结果证明了动力学模型的可行性和有效性。
- 蒋毅朱煜杨开明李鑫余东东
- 关键词：多输入多输出系统动力学建模
- 一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置
- 一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置，该双台包括一个基台及安装在基台上的两个工件台、四个激光尺、四个驱动器和两个切换开关。在双工件台位置交换过程中，初始阶段由一侧的激光尺和驱动器测量并控制工件台的运动；当两工件台运动...
- 杨开明朱煜张鸣成荣李鑫穆海华余东东胡金春尹文生季国锋蒋毅
- 平面电机自适应加速度前馈运动控制被引量：8
- 2012年
- 为解决在较大加速度运动条件下,固定不变的加速度前馈系数难以提高平面电机加、减速阶段的伺服性能的问题,提出一种基于比例微分控制器输出与目标加速度的自适应前馈系数求解方法。采用最小二乘法,根据运动过程中比例微分控制器输出与目标加速度数据集,对前馈系数进行在线修正。通过引入遗忘因子,使得前馈系数与基于当前位置的动态特性更加匹配。分别采用沿yx、方向的不同加速度轨迹,在最大加速度为20 m/s2时,加、减速段的最大轨迹跟踪误差为0.56μm。该方法完全基于在线运动控制实验,实现了无需电机模型参数的前馈系数求解。
- 李鑫杨开明朱煜余东东
- 关键词：平面电机最小二乘法遗忘因子
- 一种利用气缸伸缩的推杆式晶圆夹持装置
- 一种利用气缸伸缩的推杆式晶圆夹持装置，主要用于半导体晶圆加工设备中。该装置含有薄片V型托盘，托盘前端两侧分别设有一个固定元件，托盘上设有四个凸起支撑元件，四个凸起支撑元件位于与晶圆同心的圆周上，且对角的两个凸起支撑元件的...
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- 文献传递
- 三自由度气浮平面电机非线性运动控制研究被引量：2
- 2012年
- 长行程多自由度气浮平面电机广泛应用于高精度场合,如半导体制造装备、超精密仪器等。但气浮平面电机存在系统噪声大、易受外界干扰的问题,采用高增益线性控制器可有效抑制低频干扰,但会放大系统噪声。针对上述问题,为进一步提高运动与定位精度,提出一种基于轨迹跟踪误差幅值的变增益非线性控制算法,并采用扫描函数法证明所提方法的稳定性。当误差值大于阈值时,利用较大的附加增益以消除低频误差;反之,利用小增益以避免放大高频系统噪声。轨迹跟踪实验结果表明,相对于线性控制算法,非线性控制算法作用下跟踪误差小于1m,有效提升了系统的轨迹跟踪与定位性能,在增强系统抑制低频干扰能力的同时降低了对噪声的敏感性。
- 余东东杨开明朱煜李鑫崔乐卿
- 关键词：平面电机非线性控制噪声抑制
- 一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置
- 一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置，属于超精密加工和检测设备技术领域。本发明定位装置包含两个相同定位组件，每个定位组件由一个可伸缩单元、一个推杆、一个定位凹槽和一个位置传感器组成，位置传感器用于工件台的位置检测，...
- 朱煜杨开明余东东李鑫汪劲松徐登峰张鸣胡金春穆海华尹文生崔乐卿
