王瑾
- 作品数：17 被引量：31H指数：4
- 供职机构：复旦大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：医药卫生电子电信经济管理政治法律更多>>
- 空气污染物的免疫毒性评价
- 王瑾
- 智能剥离SOI高温压力传感器被引量：11
- 2001年
- 采用改进的 RCA清洗工艺提高了硅片的低温键合质量 ,提出了一种积聚式缓慢退火剥离方法用于制备智能剥离 SOI (Silicon On Insulator)材料 ,并用该材料成功地研制了双岛 -梁 -膜结构的 SOI高温压力传感器 .对 SOI压力传感器的测量结果表明 ,当温度增加到 15 0℃左右时 ,输出电压没有明显的变化 ,其工作温度高于一般的体硅压力传感器 (其工作温度一般在 12 0℃以下 ) .测得所制备 SOI压力传感器的灵敏度为 6 3m V/ (MPa· 5 V) ,比用相同版图设计和工艺参数制备的多晶硅压力传感器高约
- 黄宜平竺士炀李爱珍鲍敏杭沈绍群王瑾吴东平
- 关键词：SOI压力传感器
- O76mm智能剥离SOI材料的制备及其表面缺陷的分析被引量：1
- 1999年
- 结合硅片低温键合和中等剂量的氢离子注入，用智能剥离技术（Ｓｍ ａｒｔ－ｃｕｔ○Ｒ）成功地制备了７６ｍ ｍ 的ＳＯＩ材料．用原子力显微镜（ＡＦＭ）测得表面粗糙度约为７ｎｍ ，比普通的抛光硅片约大一个数量级．ＳＯＩ上层硅膜存在表面缺陷，包括未转移区和气泡等，这是由剥离前硅片键合界面存在的空洞引起．通过改进低温键合工艺，提高键合质量，可得到基本无宏观表面缺陷的ＳＯＩ材料．
- 竺士炀黄宜平李爱珍吴东平王瑾茹国平包宗明
- 关键词：SOI材料SIMOX半导体材料
- 中国人民银行上海总部激励机制研究
- 本研究是关于中国人民银行上海总部激励机制的研究，目的是构建一个国家机关员工激励机制模型，并深入分析研究该模型中的激励模式特征模型及其效能。在本研究中，我们通过理论分析和数据分析来论证中国人民银行上海总部的激励模式特征、公...
- 王瑾
- 关键词：激励机制机关员工
- 文献传递
- 股东派生诉讼适用范围研究
- 股东派生诉讼是指当公司的权益受到不法侵害，而公司又怠于行使诉权时，具备法定条件的股东或其他利害关系者可以以公司的名义对公司利益的侵害者提起诉讼，追究其相应的法律责任。由于派生诉讼的运作机理多方面突破了公司法的普通原则，若...
- 王瑾
- 关键词：股东派生诉讼
- 文献传递
- SOI智能剥离制备技术和SOI微机械加工技术
- 竺士炀张苗鲍敏杭黄宜平林成鲁沈绍群王连卫多新中吴东平王瑾黄继颇
- 低成本、高质量的SOI材料制备技术是SOI技术成为主流硅基集成电路技术的关键。该项目研究的智能剥离技术是国际上新近提出的一种较为理想的SOI制备技术，该项研究成果为SOI材料的国产化打下了基础。该项目的另一研究成果SOI...
- 关键词：
- 关键词：SOI智能剥离技术微机械技术
- MLS脑干听觉诱发电位对评价新生儿窒息后脑损伤的意义
- 目的：为了探讨最大长度序列脑干听觉诱发电位(MLS BAEP)对评价新生儿窒息后脑损伤的价值，并与常规脑干听觉诱发电位(常规BAEP)比较，了解其优越性。
结论 ：窒息缺氧后脑损伤使听神经的传导速度及反应强度下...
- 王瑾
- 关键词：新生儿窒息缺氧缺血性脑病脑损伤脑干听觉诱发电位
- 文献传递
- 美国专利侵权等同原则研究
- 等同原则是美国法院在专利侵权判定过程中发展起来的重要普通法原则,等同的判定是侵权判定的一个难点.等同原则在美国发展到今天已有150多年,有关等同的判例、理论和文章相当丰富.美国采纳周遍界定主义的专利制度,在美国专利的保护...
- 王瑾
- 关键词：可预见性
- 文献传递
- 入世后中国税制改革研究
- 本文是对入世后我国税制改革的研究。本文的写作目的是以对WTO原则的分析为基础构建一个分析框架来研究我国的税制改革。本文的写作思路如下：首先分析WTO基本原则对我国税制调整的约束和借鉴，进一步分析发展中国家入世后在税制调整...
- 王瑾
- 关键词：中国税制改革WTO原则税制调整税收政策
- 文献传递
- 双层多孔硅结构上的UHV/CVD硅外延被引量：6
- 2000年
- 报道了采用超高真空化学气相淀积 ( UHV/CVD)在多孔硅层上的单晶硅外延技术 .研究了两步阳极化法形成不同多孔度的双层多孔硅层及外延前对多孔硅进行长时间的低温真空预处理等工艺 .对获得的外延层作了 XRD、XTEM和扩展电阻等测量 ,测量结果表明硅外延层单晶性好 ,并和硅衬底、多孔硅层具有相同的晶向 .硅外延层为 P型 ,电阻率大于 1 0 0 Ω·cm.
- 王瑾黄靖云黄宜平李爱珍包宗明竺士炀叶志镇
- 关键词：多孔硅硅外延
