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李海亮

作品数：83 被引量：52H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程生物学更多>>

合作作者

文献类型

  • 71篇专利
  • 10篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 15篇电子电信
  • 9篇机械工程
  • 9篇理学
  • 1篇生物学
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 30篇光刻
  • 28篇衍射
  • 25篇光栅
  • 14篇电子束光刻
  • 13篇衬底
  • 12篇衍射光栅
  • 12篇透射
  • 12篇谐波
  • 12篇极紫外
  • 11篇光学
  • 11篇感器
  • 11篇传感
  • 11篇传感器
  • 10篇掩模
  • 10篇自支撑
  • 10篇纳米
  • 9篇刻蚀
  • 9篇高宽比
  • 9篇大高宽比
  • 8篇电镀

机构

  • 78篇中国科学院微...
  • 8篇北京工业大学
  • 2篇中国工程物理...
  • 1篇中国农业大学
  • 1篇中国科学院长...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 83篇李海亮
  • 76篇谢常青
  • 60篇刘明
  • 42篇牛洁斌
  • 39篇朱效立
  • 19篇李冬梅
  • 17篇王冠亚
  • 17篇刘子维
  • 6篇陈宝钦
  • 6篇吴坚
  • 6篇杜宇禅
  • 5篇高南
  • 4篇叶甜春
  • 4篇胡媛
  • 4篇任艺
  • 3篇刘宇
  • 3篇马杰
  • 3篇华一磊
  • 2篇张培文
  • 2篇张建宏

传媒

  • 4篇光学学报
  • 2篇微纳电子技术
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇北京工业大学...
  • 1篇核技术
  • 1篇光电工程

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 4篇2022
  • 6篇2021
  • 2篇2020
  • 9篇2019
  • 4篇2018
  • 9篇2017
  • 4篇2016
  • 5篇2015
  • 5篇2014
  • 13篇2013
  • 7篇2012
  • 3篇2011
  • 5篇2010
  • 3篇2009
  • 2篇2008
共 83 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
微纳光学结构制备技术及应用
＜正＞本文首先简要介绍了近年来国外微纳光学结构制备技术的一些重要进展。接着报道了我们所发展的基于电子束+X射线+接近式光学的混合光刻制作微纳光学结构技术。基于我们的微纳光学结构加工平台,建立了微纳光子学器件复杂图形微光刻...
谢常青朱效立牛洁斌李海亮刘明陈宝钦胡媛史丽娜
文献传递
一种透射光栅
本发明提供了一种透射光栅，包括：不透光薄膜及N个透光对称多边形孔；其中，N个透光对称多边形孔在不透光薄膜上呈斜方格子分布，且斜方格子的周期与对称多边形孔的大小之间具有预设的比例；如此，因N个透光对称多边形孔在不透光薄膜上...
史丽娜刘子维浦探超李海亮牛洁斌谢常青刘明
文献传递
图形化装置及其使用方法
本发明公开了一种图形化装置及其使用方法，所述图形化装置包括：探针，用于配合腐蚀液在衬底表面形成预设图形，其中，在腐蚀液环境中，探针与衬底表面接触后，衬底的接触部分被溶解；以及探针驱动装置，用于驱动探针沿所述预设图形的轨迹...
李海亮牛洁斌王冠亚朱效立谢常青叶甜春
文献传递
荧光PCR微流控芯片微流体荧光测速控速装置及方法
本发明涉及一种荧光PCR微流控芯片微流体荧光测速控速装置及方法，属于生物学和分析化学及医学检测领域。包括有光源(1)、激发光分光系统(2)、发射光分光系统(4)、流速调控执行元件、与计算机相连接的光电检测器(3)、丝杠和...
吴坚任艺李海亮
文献传递
自支撑X射线透射光栅的制备及测试
针对国外对高线密度衍射光学元件的出口限制以及我国惯性约束聚变(ICF)等离子体诊断研究、高分辨率光谱仪和空间X射线光谱分析领域对高线密度X射线透射光栅的迫切需求,本文在标量模拟和时域有限差分(FDTD)矢量模拟结果的理论...
李海亮
关键词：电子束光刻X射线光刻等离子体刻蚀
文献传递
一种相位型衍射光栅
本发明涉及衍射光栅技术领域，尤其涉及一种相位型衍射光栅，包括：薄膜衬底；所述薄膜衬底上均匀开设的形状和尺寸相同的多个栅孔，其中，所述多个栅孔在所述薄膜衬底上呈规则阵列排布；所述多个栅孔呈规则阵列排布时的横向周期为P<Su...
刘子维浦探超史丽娜谢常青牛洁斌王冠亚李海亮刘明
文献传递
一种单极涡旋光栅
本发明实施例公开了一种单极涡旋光栅，包括衬底薄膜和位于衬底薄膜中的穿所述衬底薄膜的多个透光通孔列，所述多个透光通孔列构成光栅，且每个透光通孔列有多个透光通孔构成；其中，所述透光通孔列的中心位置为对平面波加载涡旋相位分布图...
谢常青王恩亮史丽娜李海亮刘明高南
文献传递
微纳结构的制备方法、微纳结构、电子元器件
本申请实施例提供一种微纳结构的制备方法，包括如下步骤：提供硅基，于硅基表面沉积具有第一预定厚度的第一金属层；于所述第一金属层上旋涂光刻胶，光刻所述光刻胶形成图案，并暴露所述第一金属层；刻蚀暴露的第一金属层以暴露硅基表面；...
李海亮姚楚豪张晓萌谢常青
电子束光刻对准标记在芯片上的布局
本发明提供了一种电子束光刻对准标记在芯片上的布局，所述芯片包括第一区域和围绕所述第一区域的第二区域，所述第一区域包括所述芯片的中心，所述布局设置在所述第二区域，其包括，设置在所述第二区域的若干个对准标识符；相邻两个所述对...
牛洁斌刘明陈宝钦谢常青龙世兵王冠亚张建宏李海亮史丽娜朱效立
文献传递
一种大高宽比衍射光学元件的制作方法
本发明公开了一种大高宽比衍射光学元件的制作方法，该方法采用电子束直写制作X射线曝光掩模板，采用接触式曝光实现透射衍射光学元件的制作，在透射薄膜衬底面溅射电镀种子层，然后旋涂负性光刻胶，再次利用X射线曝光，并显影电镀刻蚀电...
谢常青李海亮史丽娜朱效立刘明
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