靳飞飞
- 作品数：3 被引量：7H指数：2
- 供职机构：北京工业大学激光工程研究院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 变栅距透射光栅谱仪关键技术研究
- 光谱仪作为一种常见的分析仪器,在各个研究领域已经成为必不可少的一种科研工具。光谱仪的发展已经有了上百年的历史,随着机械加工手段的进步和光电转换器件的广泛应用,光谱仪器已经成为了以光为核心的集光机电于一体的精密分析仪器。 ...
- 靳飞飞
- 文献传递
- 自聚焦变栅距光栅设计、制作及特性研究被引量：3
- 2009年
- 利用变栅距光栅的衍射光束自聚焦特性,设计和制作了变栅距透射光栅,并对其自聚焦特性进行了研究。采用变栅距光栅的自动生成宏文件程序,优化设计了变栅距光栅的栅距变化。采用光栅扫描电子束光刻的方法制作了中心线数为300l/mm、适用于355nm波长的自聚焦变栅距变狭缝光栅。使用三倍频Nd:YAG激光器,研究了制作的变栅距光栅的聚焦特性,并与对氦氖激光的聚焦特性进行了比较。结果表明,主动式设计的变栅距变狭缝自聚焦光栅可以大幅提高衍射光强度和分辨本领,具有重要的应用价值。
- 靳飞飞刘世炳朱效立谢常青刘明
- 关键词：衍射光学
- 2000lp/mm X射线透射变栅距光栅的研究被引量：5
- 2010年
- 针对X射线透射光栅摄谱仪中对高线密度聚焦变栅距光栅的需要,利用电子束光刻技术,研制了X射线透射变栅距光栅。利用变栅距光栅的自动生成宏文件程序,优化设计了变栅距光栅的版图,然后利用电子束光刻和微电镀技术在聚酰亚胺薄膜底衬上制备了X射线透射变栅距光栅。制作出中心线数为2000lp/mmX射线透射变栅距光栅,栅距变化符合设计要求。衍射效率标定的结果表明,制备的变栅距光栅在中心波长处聚焦作用明显,可以大幅提高衍射光强度和光栅的分辨本领,具有重要的应用价值。
- 靳飞飞朱效立李海亮马杰谢常青刘世炳
- 关键词：衍射光学电子束光刻
