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杨光华

作品数：47 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 46篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 6篇机械工程
  • 3篇电子电信
  • 3篇理学
  • 1篇矿业工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 15篇光学
  • 12篇物镜
  • 10篇感器
  • 10篇传感
  • 10篇传感器
  • 9篇光刻
  • 9篇光束
  • 9篇波前
  • 9篇波前传感器
  • 8篇激光
  • 7篇哈特曼波前传...
  • 6篇色散
  • 6篇投影物镜
  • 6篇准直
  • 6篇准直物镜
  • 6篇光刻机
  • 6篇光学系统
  • 6篇光源
  • 6篇波像差
  • 6篇成像

机构

  • 47篇中国科学院光...

作者

  • 47篇齐月静
  • 47篇杨光华
  • 44篇卢增雄
  • 43篇王宇
  • 37篇齐威
  • 37篇苏佳妮
  • 17篇李兵
  • 11篇周翊
  • 8篇张清洋
  • 3篇梅东滨
  • 3篇刘广义
  • 3篇刘斌
  • 3篇孟庆宾
  • 1篇彭卓君
  • 1篇刘成涛

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 3篇2024
  • 3篇2023
  • 2篇2020
  • 4篇2019
  • 19篇2018
  • 11篇2017
  • 3篇2015
  • 2篇2014
共 47 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种微位移测量装置
本实用新型提出一种微位移测量装置，该装置包括白光宽光谱光源、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、光纤连接器、多分支光纤、光谱仪和计算机。本实用新型通过采用多个固定光栅的微型光谱仪，在提高系统分辨...
王宇卢增雄齐月静苏佳妮齐威杨光华张清洋李兵
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一种基于夏克-哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法
本发明公开了一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置和测量方法，该装置包括波长可调谐激光器、衰减器、聚焦物镜、Y型光纤耦合器、第一五维调整台、第一物镜、第一小孔板、准直物镜、分光板、第一夏克‐哈特曼波前传感...
齐月静卢增雄齐威苏佳妮杨光华张清洋李兵王宇
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一种光学系统波像差测量装置与测量方法
本发明公开了一种光学系统波像差测量装置和方法，装置包括线偏振平面波发生源、1/2波片、偏振分光棱镜、1/4波片、反射装置以及夏克-哈特曼波前传感器，线偏振平面波发生源用于产生线偏振平面波；1/2波片用于将线偏振平面波转换...
卢增雄齐月静苏佳妮杨光华周翊王宇
一种基于全反射原理的液体透过率测量装置
本实用新型提出一种基于全反射原理的液体透过率测量装置，所述测量装置顺次包括光源，第一光学棱镜，样品管，第二光学棱镜，所述测量装置还包括用于移动第一光学棱镜的第一精密位移台，用于移动第二光学棱镜的第二精密位移台，探测系统，...
苏佳妮齐月静齐威卢增雄杨光华王宇
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光刻光源传输光路系统的辅助调整装置及调整方法
本发明提供了一种光刻光源传输光路系统的辅助调整装置及调整方法，该辅助调整装置包括能够分别安装在不同的所述反射镜装置上的第一辅助架和第二辅助架，第一辅助架的前端表面设有透光的标记部，标记部位于第一辅助架的中心，第一辅助架的...
苏佳妮齐月静王宇卢增雄杨光华齐威
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一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法
本发明公开了一种光谱共焦测量系统在线标定装置和方法，该装置包括白光宽光谱光源、滤光片、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、位移传感器、光谱仪和计算机，该方法包括转动滤光片的滤光片轮，让白光宽光谱...
齐月静卢增雄杨光华齐威苏佳妮张清洋李兵王宇
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光刻光源传输光路系统的辅助调整装置
本实用新型提供了一种光刻光源传输光路系统的辅助调整装置，该辅助调整装置包括能够分别安装在不同的所述反射镜装置上的第一辅助架和第二辅助架，第一辅助架的前端表面设有透光的标记部，标记部位于第一辅助架的中心，第一辅助架的后端设...
苏佳妮齐月静王宇卢增雄杨光华齐威
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一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法
本发明公开了一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、深紫外光学系统会聚光束(501)、球面反射镜(6)、球面反射镜会聚光束(6...
卢增雄齐月静王宇苏佳妮齐威杨光华周翊孟庆宾
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具有位置调节功能的嵌套式支承结构及其用途
本发明涉及具有位置调节功能的嵌套式支承结构及其用途，其包括内支承架和支承并调节所述内支承架的外支承架，内支承架设置有沿横向X方向和纵向Y方向凸出的多个突出部；外支承架由沿横向X方向延伸的两个相对布置的横向延伸部和沿纵向Y...
齐威齐月静王宇卢增雄杨光华李兵刘斌郭馨
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光路传输换向装置及光学性能参数检测系统
本发明提供了一种光路传输换向装置，包括输入光筒、换向筒、光学支架、第一输出光筒、第二输出光筒、顶板以及底板，所述换向筒为部分中空的筒体，所述换向筒固定安装在所述底板上，所述光学支架安装在所述换向筒的内部，所述反射镜固定安...
齐威齐月静王宇卢增雄杨光华
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