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罗晨晨

作品数：4 被引量：2H指数：1
供职机构：上海交通大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇微麦克风
  • 2篇微细加工
  • 2篇微细加工工艺
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇麦克风
  • 2篇刻蚀
  • 2篇反应离子
  • 2篇反应离子刻蚀
  • 2篇方腔
  • 1篇电子束光刻
  • 1篇亚波长
  • 1篇亚波长光栅
  • 1篇荧光
  • 1篇荧光反应
  • 1篇制备及特性
  • 1篇全反射
  • 1篇转写
  • 1篇倏逝波
  • 1篇芯片
  • 1篇芯片键合

机构

  • 4篇上海交通大学

作者

  • 4篇罗晨晨
  • 3篇罗江波
  • 3篇李以贵
  • 3篇廖哲勋
  • 2篇陈丹丹
  • 2篇胡锦洋

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 2篇2012
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
基于表面微细加工工艺的电容式微麦克风及其制备方法
一种基于表面微细加工工艺的电容式微麦克风及其制备方法，采用基于反应离子刻蚀和以HF为刻蚀液的湿法刻蚀工艺，反应离子干法刻蚀用于形成高深宽比结构，形成具有垂直侧壁的方腔结构，然后利用刻蚀液HF的湿法刻蚀，将振动膜与固定的电...
李以贵廖哲勋罗晨晨罗江波陈丹丹胡锦洋
文献传递
微纳光栅的制备及特性研究
本文首先介绍了最近文献发表的一些基本微光学元件,微透镜阵列、微镜、光开关、光栅的最新应用、制备方法,其中重点介绍了亚波长光栅的新发展。由于本文的主要工作是制备,因此对还处于研究阶段的新微细加工工艺也做了简单介绍,通过以上...
罗晨晨
关键词：亚波长光栅X射线光刻电子束光刻
文献传递
基于表面微细加工工艺的电容式微麦克风及其制备方法
一种基于表面微细加工工艺的电容式微麦克风及其制备方法，采用基于反应离子刻蚀和以HF为刻蚀液的湿法刻蚀工艺，反应离子干法刻蚀用于形成高深宽比结构，形成具有垂直侧壁的方腔结构，然后利用刻蚀液HF的湿法刻蚀，将振动膜与固定的电...
李以贵廖哲勋罗晨晨罗江波陈丹丹胡锦洋
基于全反射的平面并行荧光生物检测芯片及其制备方法
<B>本发明公开一种基于全反射的平面并行荧光生物检测芯片及其制备方法，该芯片中：样品台由玻璃片和</B> <B>PDMS</B> <B>芯片键合而成，位于整个芯片的最上面，样品台的下面是位于同一水平面的棱镜，透镜，光纤阻...
李以贵罗晨晨廖哲勋罗江波
文献传递
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