廖哲勋
- 作品数：8 被引量：5H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信化学工程更多>>
- 基于表面微细加工工艺的异平面空心微针及其制备方法
- 本发明公开一种基于表面微细加工工艺的异平面空心微针及其制备方法，所述方法采用基于湿法刻蚀工艺、UV-LIGA工艺和浇铸工艺，湿法刻蚀用于形成微针针尖结构，UV-LIGA用于实现微针针体部分，然后利用浇铸，形成一个内部中空...
- 李以贵廖哲勋朱军
- 文献传递
- 基于微加工工艺的聚苯乙烯微针阵列研制被引量：2
- 2012年
- 提出了一种聚苯乙烯(PS)微针阵列的微细加工工艺,即利用紫外线光刻技术在光刻胶上得到与准LIGA(Lithograpie(光刻),Galvanoformung(电铸),Abformung(铸塑))掩膜板图形相似的曝光能量分布图,再利用显影和转写技术获得断面形状与掩膜板图形相似的PS微针阵列结构.为了解决微针载药的加工问题,通过设计4孔凹槽结构实现空心孔的微细加工,获得了高度为400μm的PS微针阵列.该阵列面积约为22.18cm2,微针数约为6 240根.实验结果显示,新方法加工高质量高密度带凹槽结构实心微针的效果非常好.
- 廖哲勋李以贵朱军
- 基于表面微细加工工艺的异平面空心微针及其制备方法
- 本发明公开一种基于表面微细加工工艺的异平面空心微针及其制备方法，所述方法采用基于湿法刻蚀工艺、UV-LIGA工艺和浇铸工艺，湿法刻蚀用于形成微针针尖结构，UV-LIGA用于实现微针针体部分，然后利用浇铸，形成一个内部中空...
- 李以贵廖哲勋朱军
- 异平面微阵列结构的制备和特性研究
- 利用基于MEMS（微电子机械系统）工艺的微结构制造技术来制备微阵列是当今时代的一个热门研究方向。微阵列在生物学和医学领域中，有着广泛的应用和光明的前景。根据外部形貌结构的不同，微阵列可分为同平面阵列和异平面阵列，同平面阵...
- 廖哲勋
- 关键词：微阵列接触角力学性能
- 文献传递
- 基于表面微细加工工艺的电容式微麦克风及其制备方法
- 一种基于表面微细加工工艺的电容式微麦克风及其制备方法，采用基于反应离子刻蚀和以HF为刻蚀液的湿法刻蚀工艺，反应离子干法刻蚀用于形成高深宽比结构，形成具有垂直侧壁的方腔结构，然后利用刻蚀液HF的湿法刻蚀，将振动膜与固定的电...
- 李以贵廖哲勋罗晨晨罗江波陈丹丹胡锦洋
- 文献传递
- 基于转写技术的微针阵列制备与强度特性测试被引量：3
- 2014年
- 为达到低成本、批量化制备微针阵列的目的,提出了一种分别制备微针针尖模具和微针立柱模具的微针模具制备方法.制备微针针尖硅模具是采用湿法刻蚀方法,SU-8微针的立柱部分则采用套刻工艺制备.以此模具为母版,采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)二次转写技术获得PDMS二次母版.以PDMS母版为模具,分别用浇铸法制备了3种不同聚合物材料(左旋聚乳酸(PLLA),聚苯乙烯(PS),透明质酸(HA))的微针阵列;还以PDMS母版为模具,用电铸法制备了金属Ni微针阵列.该微针阵列的密度约为300根针/cm2.对制备的4种微针进行力学特性测试,实验结果表明,加工出的微针有足够的力学强度,可用于无痛注射.
- 李以贵谢长生廖哲勋朱军
- 基于全反射的平面并行荧光生物检测芯片及其制备方法
- <B>本发明公开一种基于全反射的平面并行荧光生物检测芯片及其制备方法，该芯片中：样品台由玻璃片和</B> <B>PDMS</B> <B>芯片键合而成，位于整个芯片的最上面，样品台的下面是位于同一水平面的棱镜，透镜，光纤阻...
- 李以贵罗晨晨廖哲勋罗江波
- 文献传递
- 基于表面微细加工工艺的电容式微麦克风及其制备方法
- 一种基于表面微细加工工艺的电容式微麦克风及其制备方法，采用基于反应离子刻蚀和以HF为刻蚀液的湿法刻蚀工艺，反应离子干法刻蚀用于形成高深宽比结构，形成具有垂直侧壁的方腔结构，然后利用刻蚀液HF的湿法刻蚀，将振动膜与固定的电...
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