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张大成

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

主题

  • 1篇深反应离子刻...
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇各向异性腐蚀
  • 1篇反应离子
  • 1篇反应离子刻蚀
  • 1篇分布图
  • 1篇腐蚀速率
  • 1篇硅

机构

  • 1篇复旦大学

作者

  • 1篇鲍敏杭
  • 1篇尹颢
  • 1篇杨恒
  • 1篇沈绍群
  • 1篇张大成

传媒

  • 1篇第六届全国敏...

年份

  • 1篇1999
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
硅二维腐蚀速率分布图的测试新方法
提出了测量硅二维腐蚀速率分布图的一种新方法。该方法利用深反应离子刻蚀(ORIE)在硅片表面刻蚀出垂直于硅片表面的一系列晶面，利用显微镜直接测量各晶面的腐蚀速率，可以得到一个二维的腐蚀速率分布图。由于ORIE刻蚀出一晶面深...
杨恒尹颢沈绍群鲍敏杭张大成
关键词：各向异性腐蚀深反应离子刻蚀
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