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张严波

作品数：37 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 36篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 10篇电子电信
  • 1篇文化科学

主题

  • 20篇半导体
  • 16篇半导体器件
  • 10篇金属栅
  • 10篇沟道
  • 9篇衬底
  • 8篇背栅
  • 7篇堆叠
  • 7篇源区
  • 7篇栅极
  • 7篇退火
  • 6篇阻挡层
  • 6篇SOI器件
  • 6篇侧墙
  • 6篇掺杂
  • 6篇掺杂剂
  • 5篇电压
  • 5篇电耦合
  • 5篇介质
  • 4篇电介质
  • 4篇漏电

机构

  • 37篇中国科学院微...

作者

  • 37篇张严波
  • 28篇朱慧珑
  • 16篇殷华湘
  • 10篇杨红
  • 8篇赵超
  • 7篇钟健
  • 6篇徐秋霞
  • 5篇王桂磊
  • 4篇钟汇才
  • 3篇李俊峰
  • 3篇张青竹
  • 3篇张永奎
  • 3篇秦长亮
  • 2篇闫江
  • 2篇周章渝
  • 2篇马小龙
  • 2篇朱正勇
  • 1篇赵治国
  • 1篇张月

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 3篇2020
  • 8篇2019
  • 2篇2018
  • 8篇2017
  • 10篇2016
  • 2篇2015
  • 4篇2014
共 37 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
半导体器件及其制造方法
提供了一种半导体器件及其制造方法。一示例器件可以包括：在衬底上形成的栅堆叠；在衬底中相对于栅堆叠处于相对侧的源区和漏区；自对准于栅堆叠下方、位于源区和漏区之间的超陡后退阱；以及自对准于栅堆叠下方、嵌于超陡后退阱中的补偿区...
钟健朱慧珑张严波
文献传递
一种N型鳍式场效应晶体管及制造方法
本发明提供了一种N型鳍式场效应晶体管，包括：衬底；鳍体，位于所述衬底上，所述鳍体包括：第一部分、第二部分，且所述第二部分材料比所述第一部分材料的电子亲和势大，电子亲和势之差大于鳍式场效应晶体管FinFET的工作电压；隔离...
张严波殷华湘朱慧珑赵超
文献传递
半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备
公开了一种半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备。根据实施例，半导体器件可以包括：衬底；依次叠置在衬底上的第一源/漏层、沟道层和第二源/漏层，其中，沟道层包括与Si材料相比具有增大开态电流和/或减小关态电流的半导体...
朱慧珑王桂磊亨利·H·阿达姆松张严波朱正勇
半导体器件及其制造方法
本发明公开了一种半导体器件及其制造方法。半导体器件的制造方法包括：在半导体衬底中形成源/漏区；在半导体衬底上形成界面氧化物层；在界面氧化物层上形成高K栅介质；在高K栅介质上形成第一金属栅层；通过共形掺杂在第一金属栅层中注...
朱慧珑徐秋霞张严波杨红
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P型MOSFET及其制造方法
公开了一种P型MOSFET及其制造方法。P型MOSFET的制造方法包括：在半导体衬底中形成源/漏区；在半导体衬底上形成界面氧化物层；在界面氧化物层上形成高K栅介质；在高K栅介质上形成第一金属栅层；通过共形掺杂在第一金属栅...
朱慧珑徐秋霞张严波杨红
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半导体器件及其制作方法
本申请提供了一种半导体器件及其制作方法。该半导体器件包括衬底、背栅、栅介质层、二维半导体材料层与两个电极，背栅设置在衬底的部分表面上；栅介质层设置在背栅的裸露表面上；二维半导体材料层设置在栅介质层的远离背栅的表面上；两个...
张青竹殷华湘闫江吴振华周章渝秦长亮张严波张永奎
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SOI器件
提供了一种SOI器件。一示例器件可以包括：SOI衬底，包括基底衬底、埋入绝缘层和SOI层；在SOI衬底上形成的半导体器件，包括位于SOI层中的源区和漏区以及位于源区和漏区之间的沟道区；在SOI层、埋入绝缘层和基底衬底中形...
朱慧珑钟健张严波
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一种降低硅基光波导侧壁粗糙度的方法
本发明属于半导体集成技术领域，公开了一种降低硅基光波导侧壁粗糙度的方法，包括：提供衬底；在所述衬底上形成硅基光波导线条；对含有所述硅基光波导线条的衬底进行氢气退火，所述氢气退火的腔室压力为：20Torr‑1atm。本发明...
王桂磊张严波亨利·雷德森李俊峰赵超
一种降低硅基光波导侧壁粗糙度的方法
本发明属于半导体集成技术领域，公开了一种降低硅基光波导侧壁粗糙度的方法，包括：提供衬底；在所述衬底上形成硅基光波导线条；对含有所述硅基光波导线条的衬底进行氢气退火，所述氢气退火的腔室压力为：20Torr‑1atm。本发明...
王桂磊张严波亨利·雷德森李俊峰赵超
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具有连续侧墙的半导体设置及其制造方法
公开了具有连续侧墙的半导体设置及其制造方法以及包括这种半导体设置的电子设备。例如，半导体设置可以包括：衬底；在衬底上形成的沿第一方向延伸的多个鳍；在衬底上形成的沿与第一方向交叉的第二方向延伸的多个栅堆叠以及沿第二方向延伸...
朱慧珑张严波钟汇才
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