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李友

作品数：3 被引量：16H指数：1
供职机构：中国科学院微电子中心更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇电路
  • 2篇集成电路
  • 1篇电路设计
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇抗蚀剂
  • 1篇集成电路设计
  • 1篇版图
  • 1篇版图设计
  • 1篇CIF
  • 1篇CIF格式
  • 1篇GDS

机构

  • 3篇中国科学院微...

作者

  • 3篇陈宝钦
  • 3篇李友
  • 2篇刘明
  • 1篇梁俊厚
  • 1篇张建宏
  • 1篇张卫红
  • 1篇胡勇

传媒

  • 1篇微电子学
  • 1篇第十二届全国...
  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 1篇2001
  • 1篇2000
  • 1篇1999
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
解析GDSⅡ文件格式
本文详细的分析了集成电路版图设计中最常用的图形数据描述语言文件格式之一:GDSⅡ文件格式.由于GDSⅡ文件是二进制格式,无法用文本编辑器来看,可读性差,本文试图通过实例分析的方法解读GDSⅡ格式文件,以得到对GDSⅡ格式...
胡勇陈宝钦刘明李友
关键词：集成电路版图设计
文献传递
电子束曝光技术发展动态被引量：16
2000年
电子束曝光技术是近三十年来发展起来的一门技术 ,主要应用于 0 .1～ 0 .5μm的超微细加工 ,甚至可以实现纳米线条的曝光。文中重点介绍电子束曝光系统、电子束抗蚀剂以及电子束曝光技术的应用。
刘明陈宝钦梁俊厚李友徐连生张建宏张卫红
关键词：电子束曝光微细加工抗蚀剂
解析集成电路设计工具中CIF文件格式
该文阐述了集成电路设计工具Ｌ－ＥＤＩＴ中使用的ＣＩＦ文件基本格式，以及ＣＩＦ文件中常用的命令、描述几何图形的方法、图形层名及比例因子的设置，并介绍了三种利用Ｌ－ＥＤＩＴ绘制圆环及特殊图形的方法。
李友陈宝钦
关键词：CIF格式
文献传递网络资源链接
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