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张建宏

作品数：3 被引量：16H指数：1
供职机构：中国科学院微电子中心更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇电子束曝光
  • 2篇电子束曝光机
  • 2篇曝光机
  • 1篇弹性散射
  • 1篇电子束
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇模拟技术
  • 1篇抗蚀剂
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机模拟
  • 1篇计算机模拟技...
  • 1篇非弹性
  • 1篇非弹性散射
  • 1篇MONTE_...

机构

  • 3篇中国科学院微...

作者

  • 3篇陈宝钦
  • 3篇张建宏
  • 3篇刘明
  • 1篇任黎明
  • 1篇牛洁斌
  • 1篇梁俊厚
  • 1篇李友
  • 1篇陆晶
  • 1篇张卫红

传媒

  • 1篇微电子学
  • 1篇第十二届全国...
  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 1篇2003
  • 1篇2001
  • 1篇2000
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
可变矩形束电子曝光机电子束形态的精确修正
本文重点介绍利用可变矩形束电子束曝光机精确制版中间掩模板或在硅片上直写图形时,如何通过校准子程序对电子束的形态及位置进行调整,使制版的精度要求得到保证.经过调整,使电子束扫描场的拼接精度和旋转精度获得明显提高,同时还可以...
张建宏陆晶陈宝钦刘明牛洁斌
关键词：电子束曝光机
文献传递
电子束曝光机模拟技术研究
本文建立一个描述电子在多元多层介质中散射过程的物理模型,在此基础上运用Monte Carlo方法模拟电子在靶体PMMA-衬底中的复杂散射过程,给出模拟结果.
任黎明陈宝钦刘明张建宏
关键词：电子束曝光弹性散射非弹性散射计算机模拟技术
文献传递
电子束曝光技术发展动态被引量：16
2000年
电子束曝光技术是近三十年来发展起来的一门技术 ,主要应用于 0 .1～ 0 .5μm的超微细加工 ,甚至可以实现纳米线条的曝光。文中重点介绍电子束曝光系统、电子束抗蚀剂以及电子束曝光技术的应用。
刘明陈宝钦梁俊厚李友徐连生张建宏张卫红
关键词：电子束曝光微细加工抗蚀剂
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