王颖
- 作品数：6 被引量：14H指数：2
- 供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术机械工程更多>>
- 一种Au-Si键合强度检测结构与试验
- 设计了一种Au-Si键合强度检测结构.通过对一组不同尺寸压臂式测试结构的检测,可以由结构尺寸半定量地折算出键合面的键合强度;采用同一结构尺寸,可以比较不同条件下键合强度的相对大小;此结构还可用于其它类型键合强度的比较和测...
- 王翔李婷王玮王颖田大宇张大成
- 关键词：共晶键合芯片测试键合强度
- 文献传递
- PECVDSiO_2/Si_3N_4双层膜驻极体性能被引量：1
- 2008年
- 本文研究了在带有Cr/Au电极的玻璃衬底上利用PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能。针对这种驻极体提出了一个简单的工艺流程暴露出一部分金属电极,并在电晕注极过程中将底电极引出接地。通过实验改变电晕注极过程中的注极时间、温度等因素,希望得到对PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能的优化。本文证实了PECVD双层膜具备良好的驻极体性能,有望广泛应用于微器件中。
- 陈治宇吕知秋张锦文金玉丰李婷田大宇王颖
- 关键词：驻极体PECVD
- 基于阳极键合干法刻蚀技术的MEMS隧道加速度计的加工及测试(英文)被引量：1
- 2004年
- 提出了一种基于北京大学硅玻璃键合深刻蚀释放工艺的扩展工艺 ,用来加工微型隧道加速度计 .采用HP4 14 5 B半导体分析仪在大气环境下对所加工的器件进行了开环测试 ,验证了隧道电流的存在以及隧道间隙与隧道电流之间的指数关系 .实验结果外推出的隧道势垒的范围为 1.182～ 2 .177e V.大部分器件的开启电压在 14～16 V之间 .在 - 1,0和 +1g三种状态下对开启电压分别进行了测试 ,得到加速度计的灵敏度约为 87m V/g.
- 董海峰郝一龙贾玉斌闫桂珍王颖李婷
- 关键词：隧道效应加速度计微机电系统
- 一种Au-Si键合强度检测结构与试验被引量：3
- 2003年
- 设计了一种Au Si键合强度检测结构。通过对一组不同尺寸压臂式测试结构的检测 ,可以由结构尺寸半定量地折算出键合面的键合强度 ;采用同一结构尺寸 ,可以比较不同条件下键合强度的相对大小 ;此结构还可用于其它类型键合强度的比较和测试。通过压臂法检测了Au Si键合强度 。
- 王翔李婷王玮王颖田大宇张大成
- 关键词：共晶键合芯片金硅
- 金属剥离与衬底腐蚀等平面自对准OHR技术研究被引量：9
- 2002年
- 开发了一套OHR(OverhangResist)技术。在原来剥离工艺的基础上,增加苯处理和高温烘烤工艺,使光刻胶掩膜既保持有利于剥离的形状,腐蚀时又不发生钻蚀,完成自对准腐蚀与等平面的金属剥离。这一技术可以广泛地应用于MEMS和集成电路加工工艺中,使器件工艺简化,降低成本,提高质量。
- 闫桂珍张大成李婷王颖
- 关键词：微电子
- 一种新型的金属剥离技术研究
- 提出了一种用于MEMS工艺的DRT金属剥离新技术.采用双层普通正性光刻胶,两次曝光,再用甲苯处理,使光刻胶断面上宽下窄,表面呈倒角悬垂.淀积金属后,用丙酮作剥离液,不需要加速超声波振动,很容易地完成金属剥离.
- 闫桂珍张大成李婷王颖
- 关键词：光刻微机械电子系统
- 文献传递
