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谢芳

作品数：3 被引量：5H指数：2
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

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上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 MEMS技术 碳纳米管 压电
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