2025年1月29日
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雷啸锋
作品数:
19
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H指数:3
供职机构:
清华大学
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合作作者
刘泽文
清华大学信息科学技术学院微电子...
李志坚
清华大学信息科学技术学院微电子...
刘理天
清华大学信息科学技术学院微电子...
宣云
清华大学信息科学技术学院微电子...
韦嘉
清华大学信息科学技术学院微电子...
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李志坚
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
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刘泽文
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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相关人物
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所获资助
研究领域
宣云
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:开关 RF_MEMS开关 射频 微机械 共面波导
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韦嘉
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:压控电容 微机械 射频 MEMS 高隔离度
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方杰
供职机构:清华大学
研究主题:可变电容 微机械 电容值 射频 MEMS
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