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闫观勇

作品数：44 被引量：24H指数：4
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 12个电子电信
  • 11个机械工程
  • 8个理学
  • 6个自动化与计算...
  • 2个文化科学
  • 1个化学工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个电气工程
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个交通运输工程
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个医药卫生
  • 1个一般工业技术

主题

  • 12个投影物镜
  • 12个物镜
  • 12个光刻
  • 12个光刻机
  • 11个像差
  • 11个波像差
  • 10个掩模
  • 9个照明
  • 9个主成分
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  • 8个光学
  • 8个光学制造
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  • 7个像质
  • 7个测量技术
  • 6个定心
  • 6个数值孔径
  • 6个偏振
  • 5个衍射

机构

  • 12个中国科学院上...
  • 9个中国科学院大...
  • 3个中国科学院研...
  • 1个国防科学技术...
  • 1个华南师范大学
  • 1个四川大学
  • 1个中国科学院
  • 1个新疆师范大学

资助

  • 11个国家自然科学...
  • 5个上海市自然科...
  • 4个国家科技重大...
  • 2个国际科技合作...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个上海市科学技...
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  • 1个新疆维吾尔自...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个“上海－应用...
  • 1个国家攀登计划
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  • 1个上海市基础研...
  • 1个上海市科委国...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个应用光学国家...
  • 1个中国科学院“...

传媒

  • 11个光学学报
  • 4个第十四届全国...
  • 4个第十五届全国...
  • 4个第十七届全国...
  • 3个第十三届全国...
  • 3个第十六届全国...
  • 2个光电子．激光
  • 2个物理学报
  • 2个激光与光电子...
  • 2个中国激光
  • 2个光子学报
  • 2个第十五届全国...
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  • 1个量子电子学报
  • 1个新疆师范大学...
  • 1个光学精密工程
  • 1个电子测量技术
  • 1个仪器仪表学报
  • 1个计量学报
  • 1个物理

地区

  • 11个上海市
  • 1个新疆
共 12 条 记 录，以下是 1-10
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李思坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐东波
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈丽娜
供职机构：新疆师范大学物理与电子工程学院
研究主题：投影物镜 光刻机 大数值孔径 波像差 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨济硕
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 投影物镜 像差 主成分 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭勃
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段立峰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张恒
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 极紫外光刻 仿真方法 投影物镜 接触孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王磊
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光源 掩模 粒子群优化算法 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨朝兴
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光源 掩模 投影物镜 分辨率增强技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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