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于毅

作品数:10 被引量:29H指数:3
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
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4 条 记 录,以下是 1-4
任天令
供职机构:清华大学
研究主题:铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵宏锦
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:硅基 氮化铝薄膜 刻蚀 直流磁控反应溅射 ALN薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高占友
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:ALN薄膜 氮化铝薄膜 硅基 直流磁控反应溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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