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李鑫

作品数：123 被引量：88H指数：6
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朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
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杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
成荣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 工件台 位移测量系统 激光干涉仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
穆海华
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡金春
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐登峰
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
余东东
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 弹簧 工件台 直径尺寸 夹子
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王磊杰
供职机构：清华大学
研究主题：外差 位移测量系统 激光干涉 光刻系统 光栅
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