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靳飞飞

作品数：3 被引量：7H指数：2
供职机构：北京工业大学激光工程研究院更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 6个机械工程
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主题

  • 6个等离子体
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机构

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资助

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传媒

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  • 1个农业工程学报

地区

  • 6个北京市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
朱效立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘世炳
供职机构：北京工业大学
研究主题：飞秒激光 准分子激光 激光制备 激光 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海亮
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 MM 衍射效率 透射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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