2024年7月23日
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刘键
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
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合作作者
刘新宇
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
李超波
中国科学院微电子研究所
饶志鹏
中国科学院微电子研究所
和致经
中国科学院微电子研究所
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刘新宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 ALGAN/GAN 衬底
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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饶志鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
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和致经
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:ALGAN/GAN 欧姆接触 HEMT ALGAN/GAN_HEMT HEMTS
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李勇滔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
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李诚瞻
供职机构:株洲南车时代电气股份有限公司
研究主题:外延层 碳化硅 ALGAN/GAN 欧姆接触 ALGAN/GAN_HEMT
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石莎莉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 控制部件 氮化硅薄膜 牺牲层 刻蚀
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所获资助
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万军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
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研究领域
陈波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 半导体制造技术 基片 化学吸附 前驱体
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