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尹颢

作品数：8 被引量：9H指数：2
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院电子工程系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

领域

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地区

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共 5 条 记 录，以下是 1-5
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈绍群
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院
研究主题：硅 压力传感器 各向异性腐蚀 微机械结构 微压传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍敏杭
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 压力传感器 微机械 传感器 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张大成
供职机构：复旦大学
研究主题：硅 腐蚀速率 分布图 各向异性腐蚀 深反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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