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高南
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H指数:1
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所
谢常青
中国科学院微电子研究所纳米加工...
朱效立
中国科学院微电子研究所纳米加工...
李海亮
中国科学院微电子研究所
翁永超
长春理工大学高功率半导体激光国...
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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朱效立
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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李海亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
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辛将
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:能量守恒定律 衍射光学元件 大高宽比 方孔 光源
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翁永超
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衍射光栅 医学仪器 波带片 衍射元件 衍射效率
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王伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电极 薄膜晶体管 介质层 接触电阻 电流
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李泠
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 晶体管 电极 介质层 沟道
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华一磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:单级 衍射光栅 衬底 掩模板 高温环境
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谢长青
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:位相 透明介质 菲涅耳 波带片 衍射
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