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李新涛
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
张卫红
中国科学院微电子研究所
刘明
中国科学院微电子研究所
龙世兵
中国科学院微电子研究所
谢常青
中国科学院微电子研究所
王冠亚
中国科学院微电子研究所
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李友
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束曝光 超低功耗 非挥发性存储器 降低功耗 电极结构
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张建宏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束曝光 电子束 电子束光刻 版图 集成电路
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王冠亚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衍射光栅 大高宽比 电子束光刻 芯片 入射光
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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张卫红
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光学光刻技术 下一代 高分辨率 分辨率 光掩模
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龙世兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
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邵鑫
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻胶 激光直写 微细图形 电子束曝光机 电子束曝光
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张培文
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:扩散炉 硅电池 硅 硅太阳能电池 电极
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谢文妞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:高分辨率 分辨率 光刻系统 电子束直写 透明介质
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