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张严波
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
朱慧珑
中国科学院微电子研究所
殷华湘
中国科学院微电子研究所
杨红
中国科学院微电子研究所
赵超
中国科学院微电子研究所
钟健
中国科学院微电子研究所
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朱慧珑
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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杨红
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 金属栅 功函数 衬底 阈值电压
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赵超
供职机构:清华大学
研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
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钟健
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 源区 SOI器件 背栅 沟道
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徐秋霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
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王桂磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 衬底 载流子迁移率 栅极
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钟汇才
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 介质层 栅极 衬底 侧墙
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张永奎
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 电子设备 沟道 堆叠
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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