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李友

作品数：3 被引量：16H指数：1
供职机构：中国科学院微电子中心更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 6个电子电信
  • 1个经济管理
  • 1个金属学及工艺
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  • 1个电气工程
  • 1个自动化与计算...
  • 1个一般工业技术
  • 1个自然科学总论
  • 1个理学

主题

  • 5个电子束曝光
  • 5个微细
  • 5个微细加工
  • 5个抗蚀剂
  • 3个弹性散射
  • 3个电路
  • 3个电子束
  • 3个电子束曝光机
  • 3个曝光机
  • 3个模拟技术
  • 3个集成电路
  • 3个计算机
  • 3个计算机模拟
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  • 3个非弹性
  • 3个非弹性散射
  • 2个单电子晶体管
  • 2个电子束光刻
  • 2个电子束直写
  • 2个对准标记

机构

  • 6个中国科学院微...
  • 1个北京邮电大学
  • 1个北京师范大学
  • 1个中国科学院
  • 1个中国科学院微...
  • 1个中国科学院长...

资助

  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个国家杰出青年...
  • 1个国家科技重大...
  • 1个“九五”国家...
  • 1个国家攀登计划
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  • 1个国家重点实验...
  • 1个全球变化研究...
  • 1个中国科学院知...
  • 1个中国科学院知...

传媒

  • 5个微电子学
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  • 3个第十二届全国...
  • 1个光电子．激光
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  • 1个半导体技术
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  • 1个物理学报
  • 1个电子技术应用
  • 1个物理
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  • 1个功能材料与器...
  • 1个固体电子学研...

地区

  • 6个北京市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：电子束 电子束曝光 集成电路 电子束曝光机 抗蚀剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁俊厚
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：抗蚀剂 微细加工 电子束曝光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡勇
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：GDS 版图设计 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建宏
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：电子束曝光 电子束曝光机 抗蚀剂 微细加工 MONTE_CARLO方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张卫红
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：抗蚀剂 微细加工 电子束曝光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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