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陈威
作品数:
10
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H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
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合作作者
柳滨
中国电子科技集团公司第四十五研...
王伟
中国电子科技集团公司第四十五研...
李伟
中国电子科技集团公司第四十五研...
史霄
中国电子科技集团公司第四十五研...
熊朋
中国电子科技集团公司第四十五研...
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柳滨
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 抛光液 半导体材料
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李伟
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 CMP设备 抛光
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王伟
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 IC 300MM硅片 SOLIDWORKS
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陈波
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP CMP设备 大盘 温度 水压
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王铮
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP技术 氮化镓 化学机械抛光 晶片 抛光工艺
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郭强生
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:粘片机 集成电路 视觉检测 发光二极管 伺服控制系统
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王文丽
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:超声波 硅片 清洗工艺 湿法清洗 声波
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杨师
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 集成电路 SEMI 半导体制造设备 抛光
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周国安
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液 抛光垫
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潘峰
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:键合机 全自动 键合 调试方法 上下料机构
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