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张大成

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供职机构：复旦大学更多>>

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共 4 条 记 录，以下是 1-4
沈绍群
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院
研究主题：硅 压力传感器 各向异性腐蚀 微机械结构 微压传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍敏杭
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹颢
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
研究主题：微机械 硅 静电驱动 各向异性腐蚀 非线性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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