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张建宏

作品数：3 被引量：16H指数：1
供职机构：中国科学院微电子中心更多>>
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合作作者

领域

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主题

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机构

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传媒

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地区

  • 8个北京市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
刘明
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：电子束 电子束曝光 集成电路 电子束曝光机 抗蚀剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李友
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：抗蚀剂 微细加工 电子束曝光 GDS CIF格式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆晶
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：移相掩模 移相 线条 电子束曝光机 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任黎明
供职机构：北京大学
研究主题：石墨烯 金属 纳电子学 电子束曝光 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁俊厚
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：抗蚀剂 微细加工 电子束曝光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张卫红
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：抗蚀剂 微细加工 电子束曝光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛洁斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衬底 电子束曝光 电子束直写 衍射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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