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李金儒

作品数：12 被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇期刊文章
  • 3篇专利
  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 8篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...

主题

  • 7篇数据格式
  • 6篇数据格式转换
  • 5篇光刻
  • 4篇电子束直写
  • 4篇微光刻
  • 4篇CIF格式
  • 3篇微光刻技术
  • 3篇光刻技术
  • 3篇CIF
  • 2篇电子束曝光
  • 2篇电子束曝光系...
  • 2篇多边形
  • 2篇数据转换
  • 2篇微电子
  • 2篇光学
  • 2篇编程
  • 2篇编程实现
  • 1篇电子束光刻
  • 1篇定影
  • 1篇掩模

机构

  • 12篇中国科学院微...
  • 1篇湛江师范学院

作者

  • 12篇李金儒
  • 11篇陈宝钦
  • 8篇赵珉
  • 7篇汤跃科
  • 7篇刘明
  • 4篇薛丽君
  • 3篇陆晶
  • 3篇张立辉
  • 3篇任黎明
  • 3篇牛洁斌
  • 3篇胡勇
  • 3篇王德强
  • 3篇王琴
  • 3篇龙世兵
  • 2篇杨清华
  • 2篇刘珠明
  • 2篇徐秋霞
  • 1篇范东升

传媒

  • 2篇微细加工技术
  • 1篇Journa...
  • 1篇电子技术应用
  • 1篇电子器件
  • 1篇微电子学
  • 1篇第十三届全国...
  • 1篇第十四届全国...

年份

  • 1篇2012
  • 4篇2008
  • 2篇2007
  • 3篇2006
  • 2篇2005
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法
本发明涉及微光刻图形数据格式转换技术领域，公开了一种将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法，该方法包括：将圆形近似作为一个正n边形，计算n的值，n为自然数；将所述正n边形切割成矩形和直角三角形的组合；将切割得到...
李金儒赵珉王琴刘明陈宝钦
文献传递
光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术被引量：4
2006年
介绍如何实现光学和电子束曝光系统之间的匹配和混合光刻的技术,包括:(1)光学曝光系统与电子束曝光系统的匹配技术;(2)投影光刻和JBX-5000LS混合曝光技术;(3)接触式光刻机和JBX-5000LS混合曝光技术;(4)大小束流混合曝光技术或大小光阑混合曝光技术;(5)电子束与光学曝光系统混合光刻对准标记制作技术.该技术已成功地应用于纳米器件和集成电路的研制工作,实现了20nm线条曝光,研制成功了27n m CMOS器件;进行了50nm单电子器件的演试;并广泛地用于100nm化合物器件和其他微/纳米结构的制造.
陈宝钦刘明徐秋霞薛丽君李金儒汤跃科赵珉刘珠明王德强任黎明胡勇龙世兵陆晶杨清华张立辉牛洁斌
关键词：微光刻技术电子束直写
复杂掩模图数据处理与转换的研究被引量：3
2012年
将数字图像处理理论和算法引入到掩模版图数据处理与转换系统中,开发了相应的数据处理与转换软件模块。实现了bmp图像文件的输入、图像的灰度量化、对比度拉伸、反转、边缘检测、多边形近似及版图文件的输出。实验结果证明,该软件能将含有较复杂图形的bmp文件成功地转换为GDSII版图文件。
赵珉汤跃科陈宝钦李金儒胡勇
关键词：图像处理数据转换BMP文件
光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术
中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术研究室拥有一个由美国GCA3600F图形发生器、GCA3696分步重复精缩机、日本JEOLJBX6AⅡ电子束曝光系统和JEOLJBX5000LS电子束光刻系统及美国应用材料公司捐赠...
陈宝钦任黎明胡勇龙世兵陆晶杨清华张立辉牛洁斌刘明徐秋霞薛丽君李金儒汤跃科赵珉刘珠明王德强
关键词：微光刻技术电子束直写
文献传递
CIF格式转换为PG3600格式中任意多边形切割成矩形的算法研究(英文)
2008年
为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式转换软件,文章提出了微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的新的图形切割算法——沿边切割法,重点讨论任意多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行比较,说明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性,最后给出所编软件运行的实验结果。
李金儒陈宝钦刘明赵珉
关键词：数据格式转换任意多边形CIFWINDOWS操作系统
CIF到PG3600格式转换的算法研究被引量：2
2007年
提出了微光刻图形CIF数据格式到PG3600数据格式转换软件新的图形切割算法,该算法将L-EDIT输出的CIF格式中的四种图形当作任意多边形处理,然后把多边形切割成矩形。与其他算法相比较,该算法简单、切割理想、切割后的矩形数据量比其他算法少很多。并以此算法为基础,编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT上的数据格式转换软件。
李金儒陈宝钦赵珉汤跃科
关键词：CIF格式数据格式转换
将CIF格式多边形切割成PG3600格式矩形的方法
本发明涉及微光刻图形数据格式转换技术领域，公开了一种将CIF格式多边形切割成PG3600格式矩形的方法，该方法包括：对于独立的非直角三角形，作一个边的高将其切割成两个直角三角形；对于边数大于或等于四的多边形，过顶点及后续...
李金儒赵珉王琴刘明陈宝钦
文献传递
一种制作百纳米级螺线管或网状结构的方法
本发明涉及纳米加工技术领域，公开了一种制作百纳米级螺线管或网状结构的方法，该方法包括：A、对基片衬底进行热处理；B、在衬底上涂敷具有反转特性的电子抗蚀剂；C、对涂敷电子抗蚀剂进行前烘；D、对电子抗蚀剂进行电子束直写曝光；...
李金儒赵珉王琴刘明陈宝钦
文献传递
CIF数据格式转换成PG3600数据格式的新切割算法
2006年
为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式上的转换软件,提出了一种新的将微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的图形切割算法———沿边切割法,重点讨论了圆形和多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行了比较,表明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性。
李金儒汤跃科陈宝钦
关键词：微光刻技术数据格式转换
CIF格式挖空多边形切割为PG3600格式矩形的算法被引量：2
2006年
给出了一种微光刻图形CIF格式的中间挖空多边形切割成PG3600格式所需矩形的新算法。首先,用水平扫描线把有内环的多边形切割成三角形或梯形;然后,把三角形或梯形切割成矩形和直角三角形;最后,把直角三角形用矩形包围或将其直接切割成矩形。本算法的优越性在于不需要先把挖空多边形切割成凸多边形后再进行切割,而是直接进行,对于三角形则采用了矩形包围拼接的方法,大大减少了切割出的矩形数据量。另外,本算法同样适用于没有内环的凸凹多边形的切割。
李金儒陈宝钦汤跃科薛丽君
关键词：数据格式转换
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