SiGe沟道SOI CMOS的设计及模拟 被引量:2 2003年 在 SOI(Silicon on Insulator)结构硅膜上面生长一层 Si Ge合金 ,采用类似 SOICMOS工艺制作成具有Si Ge沟道的 SOICMOS集成电路。该电路不仅具有 SOICMOS电路的优点 ,而且因为 Si Ge中的载流子迁移率明显高于 Si中载流子的迁移率 ,所以提高了电路的速度和驱动能力。另外由于两种极性的 SOI MOSFET都采用 Si Ge沟道 ,就避免了只有 SOIPMOSFET采用 Si Ge沟道带来的选择性生长 Si Ge层的麻烦。采用二维工艺模拟得到了器件的结构 ,并以此结构参数进行了器件模拟。模拟结果表明 ,N沟和 P沟两种 MOSFET的驱动电流都有所增加 。 李树荣 王纯 王静 郭维廉 郑云光 郑元芬 陈培毅 黎晨关键词:SIGE CMOS集成电路 UHV/CVD自组织生长Ge量子点 利用UHV/CVD设备自组织生长了Ge量子点.结果显示生长温度对量子点的尺寸、形状和分布有较大影响.550℃和600℃下生长的Ge量子点呈现为两种典型的尺寸,量子点密度都高于10<'10>/cm<'2>,且其大小均匀性也... 罗广礼 黄文韬 史进 黎晨 陈培毅 钱佩信关键词:GE量子点 自组织生长 文献传递 CMOS兼容近红外Si_(0.7)Ge_(0.3)/Si p-i-n(SOI)光电探测器(英文) 2002年 报道了一种采用 U HV/CVD锗硅工艺和 CMOS工艺流程在 SOI衬底上制作的横向叉指状 Si0 .7Ge0 .3/Si p- i-n光电探测器 .测试结果表明 :其工作波长范围为 0 .7~ 1.1μm,在峰值响应波长为 0 .93μm,响应度为 0 .38A/W.在3.0 V的偏压下 ,其暗电流小于 1n A,寄生电容小于 1.0 p F,上升时间为 2 .5 ns.其良好的光电特性以及与 CMOS工艺的兼容性 ,为研制能有效工作于近红外光的高速、低工作电压硅基光电集成器件提供了一种新的尝试 。 郭辉 郭维廉 郑云光 黎晨 陈培毅 李树荣 吴霞宛关键词:光电探测器 SOI 近红外 UHV/CVD硅锗膜的Raman光谱分析 被引量:7 2001年 本文提出一种用Raman光谱测量SiGe合金膜中的锗组分及应变的方法 ,方法是非破坏的。并用这一方法测量了几种不同锗组分和膜厚度的SiGe合金样品 ,它们都是用UHV/CVD设备生长的。其中两个样品还与X 射线双晶衍射的结果作了比较 ,两种方法的结果十分一致 ,这说明本文提出的方法是准确可靠的。这些样品用于制作SiGe/Si异质结PMOSFET ,对 0 5 μm沟长器件 ,跨导达 112ms·mm-1。 朱培喻 陈培毅 黎晨 罗广礼 贾宏勇 刘志农 钱佩信关键词:SIGE合金 UHV/CVD 拉曼光谱分析 半导体薄膜 一种适合制作CMOS的SiGePMOSFET 被引量:4 2001年 在通常适合于制作埋沟 Si Ge NMOSFET的 Si/弛豫 Si Ge/应变 Si/弛豫 Si Ge缓冲层 /渐变 Ge组分层的结构上 ,制作成功了 Si Ge PMOSFET.这种 Si Ge PMOSFET将更容易与 Si Ge NMOSFET集成 ,用于实现 Si Ge CMOS.实验测得这种结构的 Si Ge PMOSFET在栅压为 3.5 V时最大饱和跨导比用作对照的 Si PMOS提高约 2倍 ,而与常规的应变 Si 黎晨 朱培喻 罗广礼 陈培毅 钱佩信关键词:CMOS 锗化硅 场效应晶体管 GeSi MOSFET的纵向结构对器件性能的影响 2000年 为了研究器件参数对GeSiMOSFET器件性能的影响 ,本文在建立一个简单的GeSiMOSFET的器件模型的基础上 ,对GeSiMOSFET的纵向结构进行了系统的理论分析 .确定了纵向结构的CAP层厚度、沟道层载流子面密度、DELTA掺杂浓度以及量子阱阱深之间的关系 ,得出了阈值电压与DELTA掺杂浓度、栅氧化层厚度及CAP层厚度之间的关系 ,还得出了栅压与沟道载流子面密度、栅氧化层厚度及CAP层厚度之间的关系 .并且在此基础上得出了一些有意义的结果 .为了更细致、精确地进行分析 ,我们分别对GeSiPMOSFET和GeSiNMOSFET在MEDICI上做了模拟 . 董志伟 黎晨 陈培毅 钱佩信关键词:GESI MOSFET 调制掺杂层在SiGe PMOSFET中的应用 被引量:7 2002年 在普通 Si器件性能模拟的基础上 ,详细研究了长沟应变 Si Ge器件的模拟 ,并进一步探讨了调制掺杂层的引入对器件性能 (主要是跨导 )的影响。在器件模拟过程中 ,采用隐含的 Si Ge材料和 Si材料模型会得到与实际情况差别较大的结果。根据前人的材料研究工作 ,引入了插值所得的近似因子 ,以修正 Silvaco中隐含的 Si Ge能带模型和迁移率参数。然后 ,依据修正后的模型对Si Ge PMOS进行了更为精确的二维模拟 。 史进 黎晨 陈培毅 罗广礼关键词:SIGE器件 MOSFET 调制掺杂 跨导 基于应变模型的SiGe PMOSFET性能模拟 本文在普通Si器件性能模拟的基础上,详细研究了长沟应变SiGe器件的模拟,并进一步探讨了调制掺杂层的引入对器件性能主要是跨导的影响.在器件模拟过程中,采用隐含的SiGe材料和Si材料模型会得到与实际情况出入较大的结果.本... 史进 黎晨 陈培毅 罗广礼关键词:SIGE器件 性能模拟 文献传递 SiGe HMOSFET的研制 本文介绍了SiGe HMOSFET器件的研制结果,显示SiGe HMOSFET器件性能明显优于纯硅器件. 陈培毅 黎晨 史进 罗广礼 黄文韬 钱佩信关键词:参数设计 基本结构 文献传递 生物附着装置 本发明一种生物附着装置,特别是具主动附着特性的浮游生物的附着装置,包括至少一个附着排,所述附着排包括多个附着板,所述附着装置还包括固定结构,所述固定结构包括固定架和固定座,同一个附着排上的各所述附着板彼此为平行结构。一方... 王兆印 徐梦珍 王旭昭 黎晨 刘玮 李永华 陈莉文献传递