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杜宇禅

作品数：6 被引量：9H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇等离子体共振
  • 3篇离子
  • 3篇表面等离子体...
  • 2篇折射率
  • 2篇折射率变化
  • 2篇阵列
  • 2篇阵列结构
  • 2篇生物传感
  • 2篇生物传感器
  • 2篇气孔
  • 2篇自支撑
  • 2篇无支撑
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体工艺
  • 2篇衬底
  • 2篇传感器结构
  • 1篇等离子体

机构

  • 6篇中国科学院微...
  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 6篇李海亮
  • 6篇谢常青
  • 6篇杜宇禅
  • 5篇李冬梅
  • 5篇刘明
  • 4篇牛洁斌
  • 3篇朱效立
  • 1篇李春
  • 1篇史丽娜

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 4篇2013
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
表面等离子体共振样品台及其制备方法
本发明公开了表面等离子体共振样品台及其制备方法。该表面等离子体共振样品台包括：支撑结构；形成于所述支撑结构上的金属薄膜；形成于所述金属薄膜上的金属纳米颗粒周期阵列，用于承载待测生物样品，由所述金属纳米颗粒周期阵列的布拉格...
史丽娜李海亮杜宇禅朱效立李冬梅谢常青刘明
文献传递
基于导波共振的传感器及其制备方法
本发明公开了一种基于导波共振的传感器及其制备方法。该传感器包括：衬底；形成于该衬底上的自支撑薄膜结构；以及形成于该自支撑薄膜结构中的球形空气孔阵列，用于承载待测样品，利用该球形空气孔阵列中的导波共振来探测该待测样品的折射...
史丽娜杜宇禅谢常青牛洁斌李海亮李冬梅刘明
文献传递
生物传感器及其制造方法、生物传感器测试系统
本发明实施例公开了一种生物传感器，包括：透光衬底；透光衬底上的支撑柱阵列，所述支撑柱阵列包括多个支撑柱，每个支撑柱上表面形成有金属层。通过在透明衬底上形成有支撑柱阵列，每个支撑柱上具有金属层，所有的金属层构成了阵列排布的...
史丽娜李海亮杜宇禅牛洁斌朱效立李冬梅谢常青刘明
文献传递
生物传感器及其制造方法、生物传感器测试系统
本发明实施例公开了一种生物传感器，包括：透光衬底；透光衬底上的支撑柱阵列，所述支撑柱阵列包括多个支撑柱，每个支撑柱上表面形成有金属层。通过在透明衬底上形成有支撑柱阵列，每个支撑柱上具有金属层，所有的金属层构成了阵列排布的...
史丽娜李海亮杜宇禅牛洁斌朱效立李冬梅谢常青刘明
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32nm节点极紫外光刻掩模的集成研制被引量：9
2013年
报道了国内首块用于极紫外投影光刻系统的6inch(1inch=2.54cm)标准极紫外光刻掩模。论述了32nm节点6inch标准极紫外光刻掩模的设计方案,及掩模衬底、反射层、吸收层材料的工艺特性研究,对缺陷控制及提高掩模效率的方法进行了分析。运用时域有限差分法对掩模的光学特性进行了仿真,根据仿真结果确定合适的Cr吸收层厚度。运用电子束光刻技术进行了掩模的图形生成,针对其中的电子束光刻临近效应进行了蒙特卡罗理论分析,用高密度等离子体刻蚀进行了图形转移,所制造的掩模图形特征尺寸小于100nm,特征尺寸控制精度优于20nm,满足技术设计要求。
杜宇禅李海亮史丽娜李春谢常青
关键词：X射线光学极紫外投影光刻掩模电子束光刻时域有限差分法
基于导波共振的传感器及其制备方法
本发明公开了一种基于导波共振的传感器及其制备方法。该传感器包括：衬底；形成于该衬底上的自支撑薄膜结构；以及形成于该自支撑薄膜结构中的球形空气孔阵列，用于承载待测样品，利用该球形空气孔阵列中的导波共振来探测该待测样品的折射...
史丽娜杜宇禅谢常青牛洁斌李海亮李冬梅刘明
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